# Sputter Anlage | Reinraum IZ HH

Ohne Zuschlag beendet

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Hamburg nicht vergeben.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)
- Was: Labor- und Messtechnik: Sputter Anlage | Reinraum IZ HH
- Wo: Hamburg
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.

## Leistungsumfang

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung metallischer Dünnschichten wird eine Anlage zum Magnetronsputtern benötigt. Hiermit sol-en verschiedene Multilagen-Systeme auf 150 mm Substraten abgeschieden werden. Um einen Bruch der Vakuumatmosphäre zwischen den einzelnen Prozessschritten zu vermeiden, wird eine Prozesskammer mit mehreren Sputterquellen benötigt.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: c5c3270f-c8a8-436c-b37d-ff706a683fc4

## Verlauf

- 24.12.2023: Ergebnis veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Quanten Frequenz Konverter](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/quanten-frequenz-konverter-19cbbd33) · Zuschlag 18.09.2026 an Einzelunternehmen aus Aachen · 2 Angebote
- [795nm Laser System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/795nm-laser-system-9a1fa9f6) · Zuschlag 07.09.2026 an TOPTICA Photonics SE · 1 Angebot
- [Laserlithographie](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laserlithographie-74b4b6a8) · Zuschlag 25.08.2026 an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH · 2 Angebote
- [Pikosekunden-Lasersystem mit variabler Pulsdauer](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/pikosekunden-lasersystem-mit-variabler-pulsdauer-6865ed63) · Zuschlag 31.03.2026 an APE Angewandte Physik und Elektronik GmbH · 1 Angebot
- [DRIE-Anlage](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/drie-anlage-024398be) · Zuschlag 23.03.2026 an Oxford Instruments GmbH · 1 Angebot
- [MOT Laser System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/mot-laser-system-5b16e0d5) · Zuschlag 23.01.2026 an Einzelunternehmen aus Heraklion · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Hamburg](https://vergabeweiser.de/region/hamburg): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 24.12.2023, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Fsputter-anlage-reinraum-iz-hh-c5c3270f

---
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=c5c3270f-c8a8-436c-b37d-ff706a683fc4. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/sputter-anlage-reinraum-iz-hh-c5c3270f