# SLE IZHH

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Hamburg vergeben (Bekanntmachung vom 16.02.2024), Zuschlag an LightFab GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)
- Was: Labor- und Messtechnik: SLE IZHH
- Wo: Hamburg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 48 Monate
- Zuschlag an: LightFab GmbH
- Zuschlag am: 16.02.2024
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- [LightFab GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/lightfab-gmbh), Aachen

## Leistungsumfang

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Die Prozesskette umfasst unter anderem die Strukturierung von Glassubstraten mit bis zu 150 mm Durchmesser mittel laserinduzierter Ätzung. Zu liefern ist insofern eine Anlage zur Strukturierung transparenter Substrate, wie z.B. Glaswafer, mittel selektiver laserinduzierter Ätzung (selective laser etching SLE). Hierbei wird mit einem hoch intensiven Laserstrahl im ersten Schritt das Substrat lokal verändert, so dass es eine erhöhte Ätzrate in einem nasschemischen Folgeschritt aufweist. In diesem Folgeschritt wird dann das vorgeschädigte Material selektiv zum nicht vorgeschädigten Material entfernt, um die gewünschten Strukturen zu erstellen. Die Fokussierung des Laserstrahls in einen Punkt erlaubt das Schreiben von dreidimensionalen Strukturen. Die hier spezifizierte SLE-Anlage umfasst den ersten Teilschritt, das präzise Belichten von Substraten mit bis zu 150 mm Durchmesser mit einem hoch intensiven Laserstrahl. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 3dd0cfb7-2caa-4b12-b65c-6b94bbc04b2a

## Verlauf

- 16.02.2024: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat LightFab GmbH erhalten.

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- [Öffentliche Ausschreibungen in Hamburg](https://vergabeweiser.de/region/hamburg): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 16.02.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=3dd0cfb7-2caa-4b12-b65c-6b94bbc04b2a. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/sle-izhh-3dd0cfb7