# Single Wafer ALD for TiN (IPMS-MRS05.1) - PR896468-2480-P

Ohne Zuschlag beendet

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Dresden nicht vergeben. Eingegangen: 3 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Was: Maschinen und Geräte: Single Wafer ALD for TiN (IPMS-MRS05.1) - PR896468-2480-P
- Wo: Dresden, Sachsen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 23 Monate
- Vergabeunterlagen: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-195b2db9397-35ee448093b2f0c0&
- Vergabeplattform: [vergabe.fraunhofer.de](https://vergabeweiser.de/plattform/vergabe-fraunhofer)

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammern des Bundes
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: c0f17d71-aa03-4cf0-8797-edda2e19f48d

## Verlauf

- 13.05.2025: Ausschreibung veröffentlicht
- 06.03.2026: Ergebnis veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [CMP (IMS-02) - PR886487-2380-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/cmp-ims-02-pr886487-2380-p-c17cc0ab) · Zuschlag 15.01.2026 an EBARA Precision Machinery Europe GmbH · 1 Angebot
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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Dresden](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/dresden): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 06.03.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=3d2aa7c6-867d-40cf-a666-1f346804e252. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/single-wafer-ald-for-tin-ipms-mrs051-pr896468-2480-p-c0f17d71