# SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)

Abgelaufen

Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS hat einen Auftrag für „SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)“ in Dresden ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 12.01.2023. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/fraunhofer-institut-photonische-mikrosysteme-ipms)
- Was: SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)
- Wo: Dresden, Sachsen
- Bis wann: Angebotsfrist 12.01.2023, 00:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/c4db858c-18fe-4f29-a393-e2e2540926d5
- Vergabeplattform: [deutsche-evergabe.de](https://vergabeweiser.de/plattform/deutsche-evergabe)

## Leistungsumfang

Equipments zur Zuführung von gasförmigem Siliziumtetrachlorid (SiCl4) zu zwei Ätzsystemen (Applied Materials Centura) aus einem mit flüssigem SiCl4 gefüllten Precursor-Behälter. Der Precursor-Behälter enthält bis zu 800 g flüssiges SiCl4 . Das gesamte Equipment und alle Subsysteme müssen chemisch stabil sein. Das Gesamtsystem muss kompatibel zur RR-Klasse <=1000 (ca. Klasse 6 EN ISO 14644-1) oder besser sein. SiCl4-Zufuhrsystem (Siliziumtretrachlorid)

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: nicht angegeben
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bekanntmachungs-ID: 19121142

## Verlauf

- 14.12.2022: Ausschreibung veröffentlicht

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Dresden](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/dresden): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/fraunhofer-institut-photonische-mikrosysteme-ipms): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Öffentliche Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/oeffentliche-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 14.12.2022, ohne KI. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=19121142. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/sicl4-zufuhrsystem-siliziumtretrachlorid-19121142