# Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS) für in-situ Reaktorsystem

Zuschlag erteilt

Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e. V. hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Landkreis Vorpommern-Greifswald vergeben (Bekanntmachung vom 26.04.2022), Zuschlag an SPECS Surface Nano Analysis GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 369.460 €. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e. V.
- Was: Labor- und Messtechnik: Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS) für in-situ Reaktorsystem
- Wo: Landkreis Vorpommern-Greifswald, Mecklenburg-Vorpommern
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Zuschlag an: SPECS Surface Nano Analysis GmbH
- Zuschlag am: 26.04.2022
- Summe: 369.460 €
- Angebote: 2

## Gewinner

- [SPECS Surface Nano Analysis GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/specs-surface-nano-analysis-gmbh), Berlin

## Leistungsumfang

Für ein bestehendes UHV-Reaktorsystem ist die Beschaffung eines in-situ Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS) zum Zwecke der Erneuerung eines vorhandenen und veralteten XPS-Systems vorgesehen. Das zu beschaffende XPS-System muss mit einem bestehenden Waferhandling-Transfersystem (8“) kompatibel sein und ist integraler Bestandteil des Vakuumsystems eines UHV-Reaktorclusters. An dieser Anlage werden im Rahmen anwendungsorientierter Grundlagenforschung plasmabehandelte Proben (metallisch, dielektrisch) hinsichtlich ihrer chemischen Oberflächenzusammensetzung charakterisiert.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammern des Landes Mecklenburg-Vorpommern bei dem Ministerium für Wirtschaft
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 217825-2022

## Verlauf

- 26.04.2022: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SPECS Surface Nano Analysis GmbH erhalten, Summe 369.460 €.

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## Von hier aus weiter

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- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 26.04.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 04.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/217825-2022. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/roentgenphotoelektronenspektrometer-xps-fuer-in-situ-reaktorsystem-2178252022