# RIE-ICP-Trockenätzanlage Plasma Pro 100.

Zuschlag erteilt

Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V. hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Erlangen vergeben (Bekanntmachung vom 21.11.2017), Zuschlag an Oxford Instruments GmbH.

- Auftraggeber: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V. vertreten durch Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
- Was: Maschinen und Geräte: RIE-ICP-Trockenätzanlage Plasma Pro 100.
- Wo: Erlangen, Bayern
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: Oxford Instruments GmbH
- Zuschlag am: 21.11.2017
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Gewinner

- [Oxford Instruments GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/oxford-instruments-gmbh), Wiesbaden

## Leistungsumfang

Im Rahmen des Institutsneubaus des MPLs wurde ein neuer Reinraum gebaut, welcher u.a. eine Abteilung beherbergt, die sich mit Mikro- und Nanostrukturierung beschäftigt. Die Strukturen, welche dort hergestellt werden sollen, umfassen unterschiedlichste Gebiete, wie diffraktive optische Elemente, Nanoantennen, Mikro- und Nanofluidik, integrierte Optik, Subwellenlängenstrukturen zur Manipulation der Polarisation und Phasenplatten. Die Strukturen selber wiederum finden Anwendung in unterschiedlichen Forschungsprojekten der verschiedenen Abteilungen des MPLs. Einer der wichtigsten Prozessschritte ist dabei das reproduzierbare Trockenätzen von Gläsern und Fused Silica.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: nicht angegeben (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Südbayern, Regierung von Oberbayern
- CPV-Code: 42992000-6
- CPV-Bezeichnung: Elektrogeräte für besondere Zwecke
- Bekanntmachungs-ID: 464873-2017

## Verlauf

- 21.11.2017: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

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- [Vergabearten](https://vergabeweiser.de/wissen/vergabearten): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 21.11.2017, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/464873-2017. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/rie-icp-trockenaetzanlage-plasma-pro-100-4648732017