# Resist-Simulations-Software

Abgelaufen

Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS hat einen Auftrag für „Resist-Simulations-Software“ in Dresden ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 10.12.2023. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/fraunhofer-institut-photonische-mikrosysteme-ipms)
- Was: Resist-Simulations-Software
- Wo: Dresden, Sachsen
- Bis wann: Angebotsfrist 10.12.2023, 23:59 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/a188f5ac-369a-4e93-a40c-bb10b45c2c7b
- Vergabeplattform: [deutsche-evergabe.de](https://vergabeweiser.de/plattform/deutsche-evergabe)

## Leistungsumfang

The subject of this tender is a software for the simulation of the imaging process in optical micro-lithography. The soft- ware shall be modular so that different aspects of the imaging of microstructures in photoresist can be considered. De- pending on the requirements, the simulations will be performed in 2D for the aerial image or in 3D for the intensity distri- bution in the photoresist (bulk image) and the corresponding resist profile after development. By varying the input pa- rameters of the simulations such as exposure dose and focus or the layer thickness of photoresist and antireflection coat-ing (ARC), the process windows and optimal process parameters or layer thicknesses can be determined by displaying the results in e.g. bossing plots or swing curves. Furthermore, it should be possible to automatically optimize limited areas of mask layouts using a model-based optical near-field correction (model-based OPC) in order to achieve a higher imaging fidelity. Resist-Simulations-Software

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: nicht angegeben
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bekanntmachungs-ID: 21145768

## Verlauf

- 09.11.2023: Ausschreibung veröffentlicht

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Dresden](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/dresden): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/fraunhofer-institut-photonische-mikrosysteme-ipms): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Öffentliche Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/oeffentliche-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 09.11.2023, ohne KI. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=21145768. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/resist-simulations-software-21145768