# Reaktives Ionenätzsystem, Deep-RIE

Abgelaufen

Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik im Landkreis München ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 19.09.2022. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/lehrstuhl-fuer-technische-physik-e23-tum)
- Was: Labor- und Messtechnik: Reaktives Ionenätzsystem, Deep-RIE
- Wo: Landkreis München, Bayern
- Bis wann: Angebotsfrist 19.09.2022, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 12 Monate
- Vergabeunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ8RW1T/documents
- Vergabeplattform: [dtvp.de](https://vergabeweiser.de/plattform/dtvp)

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Regierung von Oberbayern, Vergabestelle Südbayern
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 449443-2022

## Verlauf

- 17.08.2022: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge: Labor- und Messtechnik in Bayern

- [Prober 300mm (IAF-09.3) - PR971253-2050-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/prober-300mm-iaf-093-pr971253-2050-p-e613db78) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 21.04.2026 an FormFactor GmbH · 5 Angebote
- [Beschaffung Blutgasanalysegeräte](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-blutgasanalysegeraete-a23457b0) · Klinikum St. Marien Anstalt des öffentlichen Rechts der Stadt Amberg · Zuschlag 07.04.2026 an Radiometer GmbH · 1–3 Angebote je Los
- [Frequency Extender (EMFT-06.1) + Vector Network Analyzer (EMFT-06.2) + Signal Vector Generator (EMFT-06.4) - PR915457-2270-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/frequency-extender-emft-061-vector-network-analyzer-emft-062-signal-0a1036fa) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 12.02.2026 an Einzelunternehmen aus Böblingen · 1 Angebot
- [Ausschreibung zur Automatisierung des Zentrallabors (Los 1) und zur Automatisierung des Laborbereichs allgemeine und spezielle Hämostaseologie (Gerinnung) (Los 2)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ausschreibung-zur-automatisierung-des-zentrallabors-los-1-und-zur-07dcc4c9) · Klinikum Passau · Zuschlag 09.02.2026 an Roche Diagnostics Deutschland GmbH und Sysmex Deutschland GmbH · 4 Angebote je Los
- [Power Meas. System (IAF-09.2) - PR972030-2050-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/power-meas-system-iaf-092-pr972030-2050-p-8d1cd3be) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 02.12.2025 an Hitech BV · 5 Angebote
- [Infrarot Laser Mikroskop/Infrared Laser Microscope - AISEC-2025-0022-PR1036061](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/infrarot-laser-mikroskopinfrared-laser-microscope-aisec-2025-0022-368177dd) · Fraunhofer-Institut für Angewandte und Integrierte Sicherheit AISEC · Zuschlag 22.10.2025 an Einzelunternehmen aus TALENCE · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Landkreis München](https://vergabeweiser.de/region/bayern/landkreis-muenchen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/lehrstuhl-fuer-technische-physik-e23-tum): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 17.08.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/449443-2022. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/reaktives-ionenaetzsystem-deep-rie-4494432022