# Reaktives-Ionenätzen-System

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Stuttgartt am 22.11.2024 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr-stuttgart-stuttgart)
- Was: Labor- und Messtechnik: Reaktives-Ionenätzen-System
- Wo: Stuttgartt, Stuttgart, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: Oxford Instruments GmbH
- Zuschlag am: 22.11.2024
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Oxford Instruments GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/oxford-instruments-gmbh), Wiesbaden

## Leistungsumfang

Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 376f8d0d-60d8-4e3f-a1ed-37ec43601e88

## Verlauf

- 08.09.2024: Ausschreibung veröffentlicht
- 27.11.2024: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

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- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 27.11.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=7e1a69c1-02ba-4e2a-aa59-12ba2dab1ebd. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/reaktives-ionenaetzen-system-376f8d0d