# Reaktives Ionenätzen

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Freistaat Bayern hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Erlangen am 18.09.2026 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/freistaat-bayern-vertreten-durch-die-universitaet-erlangen-nuernberg)
- Was: Maschinen und Geräte: Reaktives Ionenätzen
- Wo: Erlangen, Bayern
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 13.10.2026 bis 21.06.2027
- Zuschlag an: Oxford Instruments GmbH
- Zuschlag am: 18.09.2026
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Oxford Instruments GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/oxford-instruments-gmbh), Wiesbaden

## Leistungsumfang

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 31 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern
- CPV-Code: 31720000-9
- CPV-Bezeichnung: Elektromechanische Ausrüstung
- Bekanntmachungs-ID: 6e7f5a8d-ac5f-424b-9b6c-a3d56334716f

## Verlauf

- 27.08.2026: Ausschreibung veröffentlicht
- 23.09.2026: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Erlangen](https://vergabeweiser.de/region/bayern/erlangen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/freistaat-bayern-vertreten-durch-die-universitaet-erlangen-nuernberg): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 23.09.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=fd2b2d3d-a042-428f-b871-894660c4e7ff. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/reaktives-ionenaetzen-6e7f5a8d