# PVD-Abscheideanlage für Nanomaterialien

Zuschlag erteilt

Technische Universität Chemnitz hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Chemnitz DE am 04.11.2019 vergeben, Zuschlag an Singulus Technologies AG. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: [Technische Universität Chemnitz](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/technische-universitaet-chemnitz)
- Was: Labor- und Messtechnik: PVD-Abscheideanlage für Nanomaterialien
- Wo: Chemnitz DE, Chemnitz, Sachsen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: bis 30.11.2020
- Zuschlag an: Singulus Technologies AG
- Zuschlag am: 04.11.2019
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Singulus Technologies AG](https://vergabeweiser.de/unternehmen/singulus-technologies-ag), Kahl am Main

## Leistungsumfang

Beim Beschaffungsgegenstand handelt es sich um eine UHV-Sputteranlage, welche speziell für die Nanotechnologien konzipiert ist. Die Anlage verfügt über mehrere Sputterkathoden in konfokaler Anordnung sowie einen beheizbaren Wafertisch und dient der Abscheidung sehr dünner Mehrkomponentenschichten mit spezieller Stöchiometrie und Kristallinität sowie komplexen Multilagensystemen. Ihr Haupteinsatz soll im Bereich der spintronischen Schichtsysteme, der memristiven Bauelemente sowie der NEMS erfolgen. Die Anlage ist zur Beschichtung von Siliziumwafern mit 200 mm Durchmesser vorgesehen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Landesdirektion Sachsen
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 390193-2019

## Verlauf

- 19.08.2019: Ausschreibung veröffentlicht
- 25.11.2019: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Singulus Technologies AG erhalten.

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## Von hier aus weiter

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- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 25.11.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/557017-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/pvd-abscheideanlage-fuer-nanomaterialien-3901932019