# Prozess-integrierendes Cluster-Tool zur Erzeugung und Strukturierung von 2D Materia

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Ruhr-Universität Bochum hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Bochum ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 08.04.2019 möglich. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Ruhr-Universität Bochum](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ruhr-universitaet-bochum)
- Was: Labor- und Messtechnik: Prozess-integrierendes Cluster-Tool zur Erzeugung und Strukturierung von 2D Materia
- Wo: Bochum, Nordrhein-Westfalen
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 08.04.2019, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 3 Monate
- Vergabeunterlagen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7YVD5/documents
- Vergabeplattform: [evergabe.nrw.de](https://vergabeweiser.de/plattform/evergabe-nrw)

## Leistungsumfang

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt die Beschaffung eines Prozess-integrierenden Cluster-Tools zur Erzeugung und Strukturierung von 2D Materialien, das sowohl der Erweiterung der 2D Materialbibliothek als auch der Erforschung komplexer Multilagen-Prozesse und der Realisierung von Elektroniksystemen dienen wird. Die Anlage soll sowohl 100 mm Wafer als auch 200 mm Wafer aufnehmen können, ggf. unter Einsatz von geeigneten Carrier-Systemen. Die Beladung soll vorzugsweise über eine Schleuse für Einzelwafer erfolgen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Wettbewerblicher Dialog (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 3.000.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer Westfalen
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 114391-2019

## Verlauf

- 12.03.2019: Ausschreibung veröffentlicht

## Weitere Zuschläge

- [Ruhr-Universität Bochum - "Mehrpartner-Rahmenvertrag Generalplanung in zwei Losen"](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ruhr-universitaet-bochum-mehrpartner-rahmenvertrag-generalplanung-in-91582cfd) · Ruhr-Universität Bochum · Zuschlag 31.07.2026 an Gerber Architekten GmbH und 3 weitere · 2–3 Angebote je Los
- [Optical measurement tool (IMS-03) - PR887737-2380-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/optical-measurement-tool-ims-03-pr887737-2380-p-00149e37) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 13.02.2026 an KLA-Tencor GmbH · 3 Angebote
- [Vollmobile Großröntgenanlage](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/vollmobile-grossroentgenanlage-fa39b56c) · Generalzolldirektion Zentrale Beschaffungsstelle der Bundesfinanzverwaltung · Zuschlag 22.01.2026 an Instech Netherlands B.V. · 3 Angebote je Los
- [Brunnenkamerasystem](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/brunnenkamerasystem-22ebeba2) · Bundesamt für Ausrüstung, Informationstechnik und Nutzung der Bundeswehr · Zuschlag 12.12.2025 an Gullyver Gesellschaft für mobile Inspektionssysteme mbH · 1 Angebot
- [Laboranalysesysteme Virologie](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laboranalysesysteme-virologie-1ca6a7c4) · Universitätsklinikum Düsseldorf · Zuschlag 13.11.2025 an Roche Diagnostics Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [Laboranalysesysteme Zentrallabor](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laboranalysesysteme-zentrallabor-94cd80e0) · Universitätsklinikum Düsseldorf · Zuschlag 05.08.2025 an Roche Diagnostics Deutschland GmbH · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Bochum](https://vergabeweiser.de/region/nordrhein-westfalen/bochum): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ruhr-Universität Bochum](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ruhr-universitaet-bochum): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Vergabearten](https://vergabeweiser.de/wissen/vergabearten): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 12.03.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/114391-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/prozess-integrierendes-cluster-tool-zur-erzeugung-und-strukturierung-1143912019