# Process Monitoring Tool

Abgelaufen

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. hat einen Auftrag für Maschinen und Geräte in Dresden ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 09.03.2026. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/fraunhofer-gesellschaft-zur-foerderung-der-angewandten-forschung-e-v)
- Was: Maschinen und Geräte: Process Monitoring Tool
- Wo: Dresden, Sachsen
- Bis wann: Angebotsfrist 09.03.2026, 10:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt. Für KMU geeignet laut Bekanntmachung.
- Laufzeit: 01.06.2026 bis 31.07.2026
- Vergabeunterlagen: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/fb2c0264-dd95-4e19-bd02-d23d57adfd89
- Vergabeplattform: [deutsche-evergabe.de](https://vergabeweiser.de/plattform/deutsche-evergabe)

## Leistungsumfang

Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 61 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: fb2c0264-dd95-4e19-bd02-d23d57adfd89

## Verlauf

- 20.01.2026: Ausschreibung veröffentlicht
- 20.02.2026: Ausschreibung veröffentlicht · terminliche Gründe

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/clustertool-for-ion-beam-etching-of-300mm-wafers-bd4dfee5) · Zuschlag 08.07.2026 an scia Systems GmbH · 1 Angebot
- [Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/inline-automatic-optical-inspection-aoi-with-high-speed-analysis-for-87d3f0cb) · Zuschlag 07.07.2026 an ATV Systems GmbH · 1 Angebot
- [Location inklusive aller weiteren Dienstleistungen für » FIRST by FMD « in Berlin 30.09. - 1.10.2026](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/location-inklusive-aller-weiteren-dienstleistungen-fuer-first-by-fmd-b289a2c9) · Zuschlag 07.05.2026 an EUREF-Event GmbH · 1 Angebot
- [Cleaning Station](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/cleaning-station-da5d6127) · Zuschlag 04.05.2026 an EV Group E. Thallner GmbH · 2 Angebote
- [3 Abgaswäscher](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/3-abgaswaescher-94e0499f) · Zuschlag 13.02.2026 an DAS Environmental Expert GmbH · 2 Angebote
- [AEL/AEM-Prüfstand PR1011296](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/aelaem-pruefstand-pr1011296-c5950498) · Zuschlag 03.12.2025 an Eltronic PtX A/S · 9 Angebote je Los

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Dresden](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/dresden): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/fraunhofer-gesellschaft-zur-foerderung-der-angewandten-forschung-e-v): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 20.02.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 30.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=52c6d03e-a0aa-4822-81e5-4f6692258878. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/process-monitoring-tool-fb2c0264