# Probestation für den MEMS-Funktionstest auf Waferlevel

Zuschlag erteilt

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Chemnitz am 12.08.2019 vergeben, Zuschlag an FormFactor Beaverton Inc. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
- Was: Maschinen und Geräte: Probestation für den MEMS-Funktionstest auf Waferlevel
- Wo: Chemnitz, Sachsen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 4 Monate
- Zuschlag an: FormFactor Beaverton Inc
- Zuschlag am: 12.08.2019
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [FormFactor Beaverton Inc](https://vergabeweiser.de/unternehmen/formfactor-beaverton-inc-beaverton), Beaverton

## Leistungsumfang

Wafer Probe Station für Forschung und Entwicklung mit DC-, HF- und optischer Ankopplung an die Wafer und Thermochuck. Die Probestation soll eine Beauf-schlagung der Wafer mit thermischer Last in einem weiten Temperaturbereich erlauben. Möglichkeiten zum Einsatz von DC-Probes, HF-Probes und optischen Probes und eine genaue Justage (Alignment der GSG-Probes, automatisch opti-miertes Alignment der optischen Probes) soll möglich sein. Der Anbau optischer Schwingungsmesstechnik (z. B. Polytec MSA 500/600) soll durch den Prober unter-stützt werden.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 267793-2019

## Verlauf

- 10.06.2019: Ausschreibung veröffentlicht
- 29.08.2019: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat FormFactor Beaverton Inc erhalten.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 29.08.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/406522-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/probestation-fuer-den-mems-funktionstest-auf-waferlevel-2677932019