# Plasmaätzanlage für Fluorchemie

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 09.11.2020 vergeben, Zuschlag an Sentech GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 365.200 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev)
- Was: Labor- und Messtechnik: Plasmaätzanlage für Fluorchemie
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: bis 15.03.2021
- Zuschlag an: Sentech GmbH
- Zuschlag am: 09.11.2020
- Summe: 365.200 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Sentech GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/sentech-gmbh), Krailling

## Leistungsumfang

— Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien aus. — Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen ätzen lassen. — Es sind mit dieser Anlage Strukturübertragungen bis in den tiefen Submikrometerbereich auszuführen und es soll eine Homogenität der Prozesse von ca. 5 % über einer Fläche von 150 mm Durchmesser erreicht werden. — Die Anlage muss reinraumtauglich konstruiert sein, bevorzugt durch die Wand zu installieren oder alternativ direkt im Reinraum aufstellbar sein. — Die Anlage muss als Parallelplatten-Anlage ausgeführt sein und die Option bieten, vor Ort durch den Tausch der Plasmaquelle eine Umrüstung auf ICP-Plasmaätzprozesse vorzunehmen. Die passende ICP-Plasmaquelle und das dafür erforderliche Zubehör müssen im Lieferumfang enthalten sein. Plasmaätzprozesse sollen mittels Parallelplattenanordnung oder ICP – Plasmaquelle reproduzierbar durchgeführt werden können. — Wertungskriterien: technische Spezifikationen 70 %, Preis 30 %.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 398009-2020

## Verlauf

- 25.08.2020: Ausschreibung veröffentlicht
- 24.11.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Sentech GmbH erhalten, Summe 365.200 €.

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Jena](https://vergabeweiser.de/region/thueringen/jena): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 24.11.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/563848-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/plasmaaetzanlage-fuer-fluorchemie-3980092020