# Plasma Ashing System

Abgelaufen

Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Garching ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 11.07.2025. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/walther-meissner-institut-der-bayerischen-akademie-der-wissenschaften)
- Was: Labor- und Messtechnik: Plasma Ashing System
- Wo: Garching, Landkreis München, Bayern
- Bis wann: Angebotsfrist 11.07.2025, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ85Z10/documents
- Vergabeplattform: [dtvp.de](https://vergabeweiser.de/plattform/dtvp)

## Leistungsumfang

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 45 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Regierung von Oberbayern
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: e2933cae-386d-4f10-a4a8-75fc250afd2c

## Verlauf

- 05.06.2025: Ausschreibung veröffentlicht
- 25.10.2026: Ergebnis veröffentlicht

## Zuschläge: Labor- und Messtechnik in Bayern

- [Prober 300mm (IAF-09.3) - PR971253-2050-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/prober-300mm-iaf-093-pr971253-2050-p-e613db78) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 21.04.2026 an FormFactor GmbH · 5 Angebote
- [Beschaffung Blutgasanalysegeräte](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-blutgasanalysegeraete-a23457b0) · Klinikum St. Marien Anstalt des öffentlichen Rechts der Stadt Amberg · Zuschlag 07.04.2026 an Radiometer GmbH · 1–3 Angebote je Los
- [Frequency Extender (EMFT-06.1) + Vector Network Analyzer (EMFT-06.2) + Signal Vector Generator (EMFT-06.4) - PR915457-2270-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/frequency-extender-emft-061-vector-network-analyzer-emft-062-signal-0a1036fa) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 12.02.2026 an Einzelunternehmen aus Böblingen · 1 Angebot
- [Ausschreibung zur Automatisierung des Zentrallabors (Los 1) und zur Automatisierung des Laborbereichs allgemeine und spezielle Hämostaseologie (Gerinnung) (Los 2)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ausschreibung-zur-automatisierung-des-zentrallabors-los-1-und-zur-07dcc4c9) · Klinikum Passau · Zuschlag 09.02.2026 an Roche Diagnostics Deutschland GmbH und Sysmex Deutschland GmbH · 4 Angebote je Los
- [Power Meas. System (IAF-09.2) - PR972030-2050-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/power-meas-system-iaf-092-pr972030-2050-p-8d1cd3be) · Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Zuschlag 02.12.2025 an Hitech BV · 5 Angebote
- [Infrarot Laser Mikroskop/Infrared Laser Microscope - AISEC-2025-0022-PR1036061](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/infrarot-laser-mikroskopinfrared-laser-microscope-aisec-2025-0022-368177dd) · Fraunhofer-Institut für Angewandte und Integrierte Sicherheit AISEC · Zuschlag 22.10.2025 an Einzelunternehmen aus TALENCE · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Landkreis München](https://vergabeweiser.de/region/bayern/landkreis-muenchen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/walther-meissner-institut-der-bayerischen-akademie-der-wissenschaften): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 25.10.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 30.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=f0f7ad9f-e17f-4edd-af7e-02b77cc7aec5. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/plasma-ashing-system-f0f7ad9f