# Plasma ALD-System

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

AMO, Gesellschaft für angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in der Städteregion Aachen am 05.08.2020 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH Plasma. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [AMO, Gesellschaft für angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/amo-gesellschaft-fuer-angewandte-mikro-und-optoelektronik-mbh)
- Was: Labor- und Messtechnik: Plasma ALD-System
- Wo: Städteregion Aachen, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 6 Monate
- Zuschlag an: Oxford Instruments GmbH Plasma
- Zuschlag am: 05.08.2020
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Oxford Instruments GmbH Plasma](https://vergabeweiser.de/unternehmen/oxford-instruments-gmbh-plasma), Wiesbaden

## Leistungsumfang

Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Plasma ALD -System zur Deposition von homogenen dielektrischen Al2O3-Schichten auf einem definierten Schichtsystem (Monolage hBN/Graphen). Die Einkapselung durch die Al2O3-Schicht muss derart erfolgen, dass die Schädigung des darunterliegenden Schichtsystems durch die Einwirkung des Plasmas so gering wie möglich ist.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 1.500.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer Rheinland
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 303345-2020

## Verlauf

- 30.06.2020: Ausschreibung veröffentlicht
- 07.10.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH Plasma erhalten.

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- [AMO, Gesellschaft für angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/amo-gesellschaft-fuer-angewandte-mikro-und-optoelektronik-mbh): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 07.10.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/471459-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/plasma-ald-system-3033452020