# PECVD Process module an III-V etch Clusrtertool

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) am 14.09.2021 vergeben, Zuschlag an SPTS Technologies Limited. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 847.834 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik)
- Was: Labor- und Messtechnik: PECVD Process module an III-V etch Clusrtertool
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 1 Monat
- Zuschlag an: SPTS Technologies Limited
- Zuschlag am: 14.09.2021
- Summe: 847.834 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [SPTS Technologies Limited](https://vergabeweiser.de/unternehmen/spts-technologies-limited-wales), Wales

## Leistungsumfang

Kombinationstool PE CVD Kammer für III-V Prozessierung Anlagenrichtpreis Für die unten ausgeschriebene Anlage gilt ein Richtpreis von 0.9 Mill. Euro netto. Gebrauchswert Aufgearbeitete und bereits verwendete Anlagen oder Anlagenteile sind aufgrund des erhöhten Sachmangelrisikos ausgeschlossen. Folgekosten Für die Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie ist ein Zeitplan für den planmäßigen Austausch von Anlagenteilen für die folgenden 3 Jahre mit einzureichen. Geräteevaluierung Um die Leistungsfähigkeit der Prozesskammern von unterschiedlichen Anbietern beurteilen und vergleichen zu können, wird im Rahmen der Ausschreibung eine Evaluierung durchgeführt werden. Eine Evaluierung wird mit den Anbietern durchgeführt, die die Leistungsbeschreibung vollständig erfüllen. Diesen Anbietern werden Wafer mit einer ausführlichen Anforderungsbeschreibung zur Verfügung gestellt. Innerhalb von 60 Tagen müssen die Wafer bearbeitet sein und die Ergebnisse in Form eines Berichtes vorliegen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 408811-2021

## Verlauf

- 11.08.2021: Ausschreibung veröffentlicht
- 12.11.2021: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SPTS Technologies Limited erhalten, Summe 847.834 €.

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Frankfurt (Oder)](https://vergabeweiser.de/region/brandenburg/frankfurt-oder): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 12.11.2021, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/577339-2021. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/pecvd-process-module-an-iii-v-etch-clusrtertool-4088112021