# PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500

Zuschlag erteilt

Friedrich-Schiller-Universität Jena hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 08.06.2023 vergeben, Zuschlag an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 109.240 €.

- Auftraggeber: [Friedrich-Schiller-Universität Jena](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/friedrich-schiller-universitaet-jena)
- Was: Labor- und Messtechnik: PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
- Zuschlag am: 08.06.2023
- Summe: 109.240 €
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Gewinner

- [SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/sentech-gesellschaft-fuer-sensortechnik-mbh), Krailling

## Leistungsumfang

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich. Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 225d6e77-5049-4c1a-a960-766dd2446a5c

## Verlauf

- 19.04.2023: Ausschreibung veröffentlicht
- 22.06.2023: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH erhalten, Summe 109.240 €.

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- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 22.06.2023, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=6af64587-f3a6-456b-9cad-6125671e5fd5. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/peale-prozesskit-fuer-rie-aetzanlage-si-500-225d6e77