# Parallel Platten Reaktor

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule (RWTH) Aachen hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Aachen am 14.05.2019 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 378.949,55 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule (RWTH) Aachen
- Was: Maschinen und Geräte: Parallel Platten Reaktor
- Wo: Aachen, Städteregion Aachen, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Zuschlag an: Oxford Instruments GmbH
- Zuschlag am: 14.05.2019
- Summe: 378.949,55 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Oxford Instruments GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/oxford-instruments-gmbh), Wiesbaden

## Leistungsumfang

Das Verfahren des „Plasma-Enhanced Chemical Vaporphase Deposition“ (PECVD) zählt zu den etablierten Verfahren der Halbleiter-Prozesstechnologie. Insbesondere wird das Verfahren in der Silizium-Prozesstechnologie an verschiedenen Stellen der Prozesskette eingesetzt. So können z. B. sowohl ultradünne SiliziumOxid/Nitrid/Carbid Schichten als chemische Blocker- oder Seed-Schichten oder als Teil von optischen Mehrlagen-Filtern mit Schichtdicken von wenigen Nanometern abgeschieden werden, als auch dicke elektrische Isolator Schichten im Back-End-Of-Line mit Schichtdicken von einigen 100 Nanometern bis zu wenigen Mikrometern. Vor allem der weite Prozessparameterbereich, sowie die breite Palette von Materialsystemen, die mit diesem Verfahren abgeschieden werden können, macht das Verfahren für eine Vielzahl von Applikationen anwendbar.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Rheinland
- CPV-Code: 31682210-5
- CPV-Bezeichnung: [Messgeräte und Steuer- und Überwachungsanlagen](https://vergabeweiser.de/cpv/31682210-messgeraete-und-steuer-und-ueberwachungsanlagen)
- Bekanntmachungs-ID: 309458-2019

## Verlauf

- 03.07.2019: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten, Summe 378.949,55 €.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 03.07.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/309458-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/parallel-platten-reaktor-3094582019