# Nassätztool Platin-Ätzung

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) am 09.08.2021 vergeben, Zuschlag an AP und S International GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 347.145 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik)
- Was: Labor- und Messtechnik: Nassätztool Platin-Ätzung
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 1 Monat
- Zuschlag an: AP und S International GmbH
- Zuschlag am: 09.08.2021
- Summe: 347.145 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [AP und S International GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/ap-und-s-international-gmbh), Donaueschingen

## Leistungsumfang

Allgemeine Information: — Zur Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie muss ein Plan für die Ersatzteilbeschaffung für die darauf folgenden 3 Jahre ausgestellt werden, — Die Anlage wir ein einem Reinraum Klasse ISO 3-5 aufgestellt. Die Anlage muss folgende Anforderungen erfüllen: — Maximale Größe (b x l x h): 1.00 m x 1.65 m x 2.50 m, — Bearbeitung von 8" Si-Substraten im Batch (1x25), — Anlage muss „State-of-the-art“ sein, — Kompatibel mit Carrier des Typs Entegris A192 – 81M (low profile PFA-Carrier), — Ein Prozessbecken das kompatibel mit Königswasser (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3) ist und auf mindestens 90 GradC geheizt werden kann, — Möglichkeit, das Königswasser bis zu einem Verhältnis 1:1 mit DIW zu verdünnen (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3 und 8 Volumenteile DIW), — Optional: Carrier kann im Prozessbecken bewegt werden (Agitation), — Ein DIW-Spülbecken, — Möglichkeit, HCl und/oder HNO3 vor und während des Prozesses an bestimmten Zeiten zu spiken, — Manuelle Be- und Entladung, automatischer Transfer des Carriers zwischen Prozess- und Spülbecken, — Befüllen des Prozesstanks mit erfolgt aus der Zentralversorgung, — Entsorgung der Prozesschemikalien aus dem Prozessbecken erfolgt in eine Zentralentsorgung, — Umwälzfiltration für Prozessbecken: Pumpe und 0.1 ?m Filter (Typ: Pall ABF1UFT3EH1K3), — Wartungsarbeiten sind ausschließlich von der Anlagenvorderseite und Anlagenrückseite möglich, kein Zugriff von der Anlagenseite möglich, — Alle Bedienelemente müssen sich an der Anlagenvorderseite befinden, — Ergonomische Bedienungsoberfläche (frei positionierbarer Bildschirm), — Signalleuchten an der Anlagenvorderseite (mind. Rot, Gelb, Grün), — Elektrische Anschlüsse: 230/400VAC 50Hz TN-S Netz (N/PE getrennt), — EG-Maschinenrichtlinie in der aktuellen Fassung muss erfüllt werden, — 2014/30/EU EMV ist erfüllt, — Ablage muss CE zertifiziert sein. Software: — Verfügbar in deutscher Sprache, — Mehrere passwortgeschützte Benutzerlevel, — Mehrere Rezepte können gespeichert werden, — Individuelle Rezepte können erstellt werden, mit größtmöglicher Flexibilität der Prozessparameter, — Protokollierung von Benutzeraktivitäten, Prozessen und Fehlermeldungen. Zusätzliche Anforderungen: — 12 Monate Garantie, — Anlagentraining für Operator/Maintenance/Prozessingenieure, — Handbücher in Deutsch, verfügbar digital sowie ausgedruckt auf Reinraumpapier, — Ersatzteilkit (bitte spezifizieren), — Lieferung nach Incoterm 2010 DDP, DPU oder DAP, — Bei Lieferungen außerhalb der EU ist der Lieferant auch der Importeur, — Medienanschlüsse sind in einem technischen Klärungsgespräch zu definieren.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 260655-2021

## Verlauf

- 25.05.2021: Ausschreibung veröffentlicht
- 27.08.2021: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat AP und S International GmbH erhalten, Summe 347.145 €.

## Weitere Zuschläge

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## Von hier aus weiter

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- [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 27.08.2021, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/433753-2021. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/nassaetztool-platin-aetzung-2606552021