# Nanolithografiesystem

Zuschlag erteilt

Universität Leipzig, Dezernat 5: Finanzen, Sachgebiet 53… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Leipzig am 16.10.2020 vergeben, Zuschlag an nano analytik GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 289.633 €.

- Auftraggeber: Universität Leipzig, Dezernat 5: Finanzen, Sachgebiet 53 – Vergabestelle
- Was: Maschinen und Geräte: Nanolithografiesystem
- Wo: Leipzig, Sachsen
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Zuschlag an: nano analytik GmbH
- Zuschlag am: 16.10.2020
- Summe: 289.633 €
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Gewinner

- [nano analytik GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/nano-analytik-gmbh), Ilmenau

## Leistungsumfang

Der Leistungsgegenstand des Verfahrens ist die Lieferung eines Rastersondenlithografiesystems, welches die Rastersonde als Elektronenemitter nutzt (field emission scanning probe lithography, FE-SPL), um Strukturgrößen mit lateralen Abmessungen von 5 nm und darunter kontaktfrei in Polymerlacke zu schreiben.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Landesdirektion Sachsen
- CPV-Code: 42610000-5
- CPV-Bezeichnung: Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren
- Bekanntmachungs-ID: 498923-2020

## Verlauf

- 21.10.2020: Direktvergabe angekündigt

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat nano analytik GmbH erhalten, Summe 289.633 €.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 21.10.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/498923-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/nanolithografiesystem-4989232020