# NanoFabrikationsmaschine 100

Zuschlag erteilt

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in TU Ilmenau am 22.06.2018 vergeben. Wer den Zuschlag bekommen hat, steht nicht in der Bekanntmachung.

- Auftraggeber: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
- Was: Maschinen und Geräte: NanoFabrikationsmaschine 100
- Wo: TU Ilmenau, Ilm-Kreis, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 12 Monate
- Zuschlag an: Gewinner nicht veröffentlicht
- Zuschlag am: 22.06.2018
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Leistungsumfang

Die TU Ilmenau plant die Anschaffung einer Nanofabrikationsmaschine auf Basis eines Scanning Probe Lithographie Systems zur skalenübergreifenden Nano-Strukturierung von planaren Oberflächen für Mess- und Bearbeitungsbereiche Ø 100 mm. Die laterale Auflösung der Positionierung soll < 0,1 nm, die Positionierreproduzierbarkeit < 2 nm betragen. Mit dem Lithography -AFM sollen Stegbreiten < 15 nm strukturierbar sein. Dies soll insbesondere auf Basis von Fowler Nordheim-Emission (FN) erfolgen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 42610000-5
- CPV-Bezeichnung: Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren
- Bekanntmachungs-ID: 134413-2018

## Verlauf

- 28.03.2018: Ausschreibung veröffentlicht
- 28.06.2018: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Der Auftraggeber hat den Gewinner nicht veröffentlicht.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 28.06.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/276908-2018. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/nanofabrikationsmaschine-100-1344132018