# Megaschallbecken zur Reinigung op tischer Substrate und Maskenrohlinge

Abgelaufen

Friedrich-Schiller-Universität Jena hat einen Auftrag für „Megaschallbecken zur Reinigung op tischer Substrate und Maskenrohlinge“ in Jena ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 14.07.2026. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Friedrich-Schiller-Universität Jena](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/friedrich-schiller-universitaet-jena)
- Was: Megaschallbecken zur Reinigung op tischer Substrate und Maskenrohlinge
- Wo: Jena, Thüringen
- Bis wann: Angebotsfrist 14.07.2026, 10:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=856877
- Vergabeplattform: [evergabe-online.de](https://vergabeweiser.de/plattform/evergabe-online)

## Leistungsumfang

Die Friedrich-Schiller-Universitat Jena beabsichtigt fiir Ihre wissenschaftliche Tatigkeit den Kauf eines (1) Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge, wel-ches die folgenden technischen Leistungsparameter mindestens erfiillen muss: siehe Anlage 2.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: nicht angegeben
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 47 Tage nach Angebotsfrist
- Bekanntmachungs-ID: d0d77460-4d53-499d-99d7-36ccfecde80f

## Verlauf

- 28.04.2026: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [maskenloses UV-Direktlithographie-System](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/maskenloses-uv-direktlithographie-system-008cdd4b) · Zuschlag 14.07.2026 an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH · 2 Angebote
- [Kryostat mit optischem Zugang und magnetischem Feld](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/kryostat-mit-optischem-zugang-und-magnetischem-feld-b37b113d) · Zuschlag 01.07.2026 an Pasqal SAS · 1 Angebot
- [Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hotplate-zur-temperung-grossflaechiger-substrate-fuer-f8fa207d) · Zuschlag 30.06.2026 an Notion Systems GmbH · 2 Angebote
- [Hyperkonvergente Infrastruktur (HCI)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hyperkonvergente-infrastruktur-hci-01c71d31) · Zuschlag 15.06.2026 an Bechtle GmbH · 1 Angebot
- [FluNQyLab_Zeitaufgelöstes Konfokal-Fluoreszenzmikroskop](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/flunqylab-zeitaufgeloestes-konfokal-fluoreszenzmikroskop-e0deb929) · Zuschlag 05.06.2026 an PicoQuant GmbH · 1 Angebot
- [Abstimmbares Lasersystem im Sichtbaren und Nahinfrarot](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/abstimmbares-lasersystem-im-sichtbaren-und-nahinfrarot-a3ccf785) · Zuschlag 05.06.2026 an TOPTICA Photonics SE · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Jena](https://vergabeweiser.de/region/thueringen/jena): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Friedrich-Schiller-Universität Jena](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/friedrich-schiller-universitaet-jena): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Öffentliche Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/oeffentliche-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 28.04.2026, ohne KI. Stand: 04.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=d0d77460-4d53-499d-99d7-36ccfecde80f. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/megaschallbecken-zur-reinigung-op-tischer-substrate-und-maskenrohlinge-d0d77460