# MBE-Sputtering-Dünnschicht- Wachstumsanlage

Abgelaufen

Universität Regensburg hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Regensburg ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 27.03.2023. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Universität Regensburg](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-regensburg)
- Was: Labor- und Messtechnik: MBE-Sputtering-Dünnschicht- Wachstumsanlage
- Wo: Regensburg, Bayern
- Bis wann: Angebotsfrist 27.03.2023, 10:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/external/deeplink/subproject/f50569fd-b829-48a2-a741-947f066bd4da
- Vergabeplattform: [evergabe.bayern.de](https://vergabeweiser.de/plattform/evergabe-bayern)

## Leistungsumfang

Los 1: Die Universität Regensburg plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- bzw. Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die MBE ist dabei der unter anderem epitaktischen Abscheidung von Materialien mit hohem Schmelzpunkt und niedrigem Dampfdruck (z. B. Pt,Ta,W) sowie von Metallen mit Schmelzpunkten bis 1500°C und Oxiden gewidmet. Es soll dabei ein Multi-Pocket-Elektronenstrahlverdampfer mit Flussratenmessung zum Einsatz kommen, sowie die Möglichkeit geboten werden, das Substrat auf 1000°C heizen und <120K zu kühlen. Los2: Die Sputteranlage soll dabei das Abscheiden von antiferro- und ferromagnetischen Materialien, sowie Materialien mit hohem Spin-Hall-Winkel (z.B. Pt, Ta, W) und guter magnetischer Kopplungseigenschaft (z.B. Ru, Ir) zweier magnetischer Lagen übernehmen. Es werden mindestens 8 Sputterquellenflansche für 2?-Sputterquellen benötigt. MBE-Sputtering-Dünnschicht- Wachstumsanlage

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: nicht angegeben
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 19543524

## Verlauf

- 23.02.2023: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Waren- und Chemikalienannahme Universität Regensburg](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/waren-und-chemikalienannahme-universitaet-regensburg-e01692bf) · Zuschlag 27.07.2026 an Götz-Gebäudemanagement RSL GmbH · 1 Angebot
- [Identitätsmanagement der Universität Regensburg](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/identitaetsmanagement-der-universitaet-regensburg-0d8b906b) · Zuschlag 16.07.2026 an Maintainet AG · 5 Angebote
- [Entsorgungsdienstleistung Universität Regensburg](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/entsorgungsdienstleistung-universitaet-regensburg-2108ea83) · Zuschlag 04.05.2026 an Meindl Entsorgungsservice GmbH und 2 weitere · 1–2 Angebote je Los
- [Technische Gase 2026-2029](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/technische-gase-2026-2029-26f6e1fc) · Zuschlag 08.12.2025 an Linde GmbH · 3 Angebote
- [Beratung und Unterstützung für die Front- und Backendentwicklung eines Verwaltungstools im schulischen Kontext (eddipuls)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beratung-und-unterstuetzung-fuer-die-front-und-backendentwicklung-0a8fd39c) · Zuschlag 08.09.2025 an XDEV Software GmbH
- [FiLBY 2 Backend](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/filby-2-backend-32c56294) · Zuschlag 18.12.2024 an XDEV Software GmbH · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Regensburg](https://vergabeweiser.de/region/bayern/regensburg): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Universität Regensburg](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-regensburg): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Öffentliche Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/oeffentliche-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 23.02.2023, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=19543524. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/mbe-sputtering-duennschicht-wachstumsanlage-19543524