# Maskless Lithography System

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Technische Universität München hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Garching bei München am 09.06.2022 vergeben, Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 401.530 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Technische Universität München](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/technische-universitaet-muenchen)
- Was: Labor- und Messtechnik: Maskless Lithography System
- Wo: Garching bei München, München, Bayern
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Zuschlag an: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
- Zuschlag am: 09.06.2022
- Summe: 401.530 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/heidelberg-instruments-mikrotechnik-gmbh), Heidelberg

## Leistungsumfang

System for direct maskless optical lithography using photo-active resists, comprising high sample throughput at very high resolution under a wide range of different optical and sample handling options.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Südbayern, Regierung von Oberbayern
- CPV-Code: 38433000-9
- CPV-Bezeichnung: [Spektrometer](https://vergabeweiser.de/cpv/38433000-spektrometer)
- Bekanntmachungs-ID: 353873-2022

## Verlauf

- 01.07.2022: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH erhalten, Summe 401.530 €.

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- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 01.07.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/353873-2022. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/maskless-lithography-system-3538732022