# Maskless Aligner

Aufgehoben

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. hat das Vergabeverfahren für Labor- und Messtechnik in Jena aufgehoben.

- Auftraggeber: [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev)
- Was: Labor- und Messtechnik: Maskless Aligner
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRH0VK/documents
- Vergabeplattform: [dtvp.de](https://vergabeweiser.de/plattform/dtvp)

## Leistungsumfang

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 457.300 €
- Nachprüfung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: f3e7994f-87ee-4007-ba65-edb4ee31753c

## Verlauf

- 13.03.2024: Ausschreibung veröffentlicht
- 21.04.2024: Ergebnis veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [ALD-Anlage](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ald-anlage-22a26e70) · Zuschlag 18.09.2026 an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH · 5 Angebote
- [Interferometrisch überwachtes Tm-Hochleistungslasersystem für IR-FRS](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/interferometrisch-ueberwachtes-tm-hochleistungslasersystem-fuer-ir-frs-3e971d00) · Zuschlag 11.08.2026 an Active Fiber Systems GmbH · 1 Angebot
- [Neubau Biophotonik - Gebäude - VE4420 Blitzschutz](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/neubau-biophotonik-gebaeude-ve4420-blitzschutz-ea4564ba) · Zuschlag 27.02.2026 an Einzelunternehmen aus Zeulenroda-Triebes · 5 Angebote
- [Neubau Biophotonik-Gebäude - VE3200 Rohbau](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/neubau-biophotonik-gebaeude-ve3200-rohbau-a7f5c232) · Zuschlag 27.02.2026 an FUCHS Bau GmbH · 10 Angebote
- [Neubau Biophotonik - Gebäude - VE3900 Baustelleneinrichtung](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/neubau-biophotonik-gebaeude-ve3900-baustelleneinrichtung-391b3201) · Zuschlag 23.02.2026 an griep Baulogistik GmbH · 6 Angebote
- [NIR-Dauerstrichlaser](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/nir-dauerstrichlaser-996fc641) · Zuschlag 02.02.2026 an TOPTICA Photonics SE · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Jena](https://vergabeweiser.de/region/thueringen/jena): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 21.04.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Fmaskless-aligner-f3e7994f

---
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=a0c55478-1f4c-4a5d-92a3-104f94024317. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/maskless-aligner-f3e7994f