# Maskless Aligner

Zuschlag erteilt

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 18.03.2022 vergeben, Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 128.230 €. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev)
- Was: Labor- und Messtechnik: Maskless Aligner
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: bis 31.07.2022
- Zuschlag an: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
- Zuschlag am: 18.03.2022
- Summe: 128.230 €
- Angebote: 2
- Originaltitel: Los 3 - Maskless Aligner

## Gewinner

- [Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/heidelberg-instruments-mikrotechnik-gmbh), Heidelberg

## Leistungsumfang

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die maskenlose Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind, daß bei moderater Strukturauflösung im Resist (1 - 2 µm) hohe Schreibgeschwindigkeiten und damit kurze Waferbelichtungszeiten zur Verfügung stehen (< 3 h für 4" Wafer) und die Belichtung auf bis zu 12 mm dicken Substraten erfolgen kann. - Wertungskriterien: technische Spezifikationen 60%, Preis 40%

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 051333-2022

## Verlauf

- 31.01.2022: Ausschreibung veröffentlicht
- 23.03.2022: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH erhalten, Summe 128.230 €.

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- [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 23.03.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/151702-2022. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/maskless-aligner-0513332022