# maskenloses UV-Direktlithographie-System

Zuschlag erteilt

Friedrich-Schiller-Universität Jena hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 14.07.2026 vergeben, Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 190.785 €. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: [Friedrich-Schiller-Universität Jena](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/friedrich-schiller-universitaet-jena)
- Was: Labor- und Messtechnik: maskenloses UV-Direktlithographie-System
- Wo: Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
- Zuschlag am: 14.07.2026
- Summe: 190.785 €
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/heidelberg-instruments-mikrotechnik-gmbh), Heidelberg

## Leistungsumfang

Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 30 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 008cdd4b-fdaa-464c-b5ed-d6525e6fd291

## Verlauf

- 22.05.2026: Ausschreibung veröffentlicht
- 15.07.2026: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH erhalten, Summe 190.785 €.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 15.07.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=3cee3fd6-df42-49cb-881c-ae9ed023900f. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/maskenloses-uv-direktlithographie-system-008cdd4b