# Maskenloser Belichter

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in TU Ilmenau am 09.07.2019 vergeben, Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 368.037 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
- Was: Labor- und Messtechnik: Maskenloser Belichter
- Wo: TU Ilmenau, Ilm-Kreis, Thüringen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 12 Monate
- Zuschlag an: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
- Zuschlag am: 09.07.2019
- Summe: 368.037 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/heidelberg-instruments-mikrotechnik-gmbh), Heidelberg

## Leistungsumfang

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur laserbasierten UV-Lithografie ohne Verwendung von Masken mit automatischem Alignment für Wafer bis 150 mm Durchmesser mit Sub-Mikrometer-Auflösung bei hohem Durchsatz für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 228932-2019

## Verlauf

- 17.05.2019: Ausschreibung veröffentlicht
- 10.07.2019: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH erhalten, Summe 368.037 €.

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## Von hier aus weiter

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- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 10.07.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/321659-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/maskenloser-belichter-2289322019