# Maskenlithografie

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Universität Paderborn hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Kreis Paderborn am 16.05.2022 vergeben, Zuschlag an SUSS Microtec Lithography GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 369.801 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Universität Paderborn](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-paderborn)
- Was: Labor- und Messtechnik: Maskenlithografie
- Wo: Kreis Paderborn, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 12 Monate
- Zuschlag an: SUSS Microtec Lithography GmbH
- Zuschlag am: 16.05.2022
- Summe: 369.801 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [SUSS Microtec Lithography GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/suss-microtec-lithography-gmbh), Garching b. München

## Leistungsumfang

Die Maskenlithografie stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 4 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optischen Bauelemente basieren auf periodischen Strukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Periodenlänge stellen. Es sollen Einzelbauelemente in der Maskenlithografie zu einer Baugruppe auf Wafergröße zusammengefügt und hergestellt werden können. Die detaillierte Leistungsbeschreibung entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen (Dokument: Kriterienkatalog).

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 376.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster
- CPV-Code: 38970000-5
- CPV-Bezeichnung: [Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft](https://vergabeweiser.de/cpv/38970000-technischer-simulator-fuer-forschung-pruefungen)
- Bekanntmachungs-ID: 194587-2022

## Verlauf

- 13.04.2022: Ausschreibung veröffentlicht
- 23.05.2022: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SUSS Microtec Lithography GmbH erhalten, Summe 369.801 €.

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- [Universität Paderborn](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-paderborn): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 23.05.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/273918-2022. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/maskenlithografie-1945872022