# Maskenjustageanlage IZHH

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Hamburg vergeben (Bekanntmachung vom 16.02.2024), Zuschlag an SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)
- Was: Labor- und Messtechnik: Maskenjustageanlage IZHH
- Wo: Hamburg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 48 Monate
- Zuschlag an: SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG
- Zuschlag am: 16.02.2024
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- [SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG](https://vergabeweiser.de/unternehmen/suss-microtec-solutions-gmbh-co-kg-garching), Garching

## Leistungsumfang

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Gegenstand dieser Ausschreibung ist insofern eine Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum in Form einer Maskenjustageanlage (auch Maskenpositionierer, Maskenausrichter). Die Prozesskette umfasst unter anderem Reinigung, Belackung, Belichtung und Entwicklung von Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Bei dem anzubietenden Gerät handelt es sich um ein UV Lithographie-Gerät zur hochpräzisen Ausrichtung von Fotomasken und der Belichtung von belackten Halbleitersubstraten mit Strukturen im Mikrometerbereich. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und eine Schulung. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Bundes
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 19bce236-e6cc-4563-847f-681c1575bfe8

## Verlauf

- 16.02.2024: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG erhalten.

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Hamburg](https://vergabeweiser.de/region/hamburg): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 16.02.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=19bce236-e6cc-4563-847f-681c1575bfe8. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/maskenjustageanlage-izhh-19bce236