# Lithography Process Support for Two Lithography Layers

Abgelaufen

Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS hat einen Auftrag für „Lithography Process Support for Two Lithography Layers“ in Dresden ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 12.06.2024. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/fraunhofer-institut-photonische-mikrosysteme-ipms)
- Was: Lithography Process Support for Two Lithography Layers
- Wo: Dresden, Sachsen
- Bis wann: Angebotsfrist 12.06.2024, 14:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/9b005b07-cb42-4700-ae00-c9b75658fcc5
- Vergabeplattform: [deutsche-evergabe.de](https://vergabeweiser.de/plattform/deutsche-evergabe)
- Originaltitel: PR726476 - Lithography Process Support for Two Lithography Layers

## Leistungsumfang

We are seeking proposals for lithography process support for two lithography layers. The project involves utilizing 193nm (ArF) or 248nm (KrF) lithography technology for the first layer to expose structures of a minimum of 150nm. For the first lithography layer two possible mask options are required. The provider will be responsible for photoresist, exposure, and development processes, including metrology. For the second lithography layer, i-Line lithography technology can be used since dimensions for that layer are at least 450 nm. The provider will again handle the mentioned steps (see figure 1). The entire project must adhere to the protocol zones for wafer processing (Front End of Line) as per SEMI Standard. PR726476 - Lithography Process Support for Two Lithography Layers

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: nicht angegeben
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- CPV-Code: 50000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Reparatur- und Wartungsdienste](https://vergabeweiser.de/cpv/50000000-reparatur-und-wartungsdienste)
- Bekanntmachungs-ID: 22144524

## Verlauf

- 30.05.2024: Ausschreibung veröffentlicht

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Dresden](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/dresden): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme IPMS](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/fraunhofer-institut-photonische-mikrosysteme-ipms): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 30.05.2024, ohne KI. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=22144524. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lithography-process-support-for-two-lithography-layers-22144524