# Lift-Off-Prozesmodul

Zuschlag erteilt

Physikalisch-Technische Bundesanstalt hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Berlin am 16.06.2025 vergeben, Zuschlag an Robotechnik Europe GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 245.000 €. Eingegangen: 4 Angebote.

- Auftraggeber: [Physikalisch-Technische Bundesanstalt](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/physikalisch-technische-bundesanstalt)
- Was: Labor- und Messtechnik: Lift-Off-Prozesmodul
- Wo: Berlin
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: Robotechnik Europe GmbH
- Zuschlag am: 16.06.2025
- Summe: 245.000 €
- Angebote: 4

## Gewinner

- [Robotechnik Europe GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/robotechnik-europe-gmbh), Singen (Hohentwiel)

## Leistungsumfang

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 49 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: a0084d9d-1415-4c7b-8b85-f2ea2be58d33

## Verlauf

- 06.04.2025: Ausschreibung veröffentlicht
- 29.07.2025: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Robotechnik Europe GmbH erhalten, Summe 245.000 €.

## Weitere Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Adaptives Optiksystem](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/adaptives-optiksystem-f1f2ae3f) · Zuschlag 25.08.2026 an PHASICS SAS · 1 Angebot
- [6-Achsen Manipulator](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/6-achsen-manipulator-a85b99f6) · Zuschlag 30.03.2026 an Einzelunternehmen aus BOUILLARGUES · 1 Angebot
- [Reinraum in Komplettausstattung](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/reinraum-in-komplettausstattung-2f238b8a) · Zuschlag 13.11.2025 an SPETEC GmbH · 5 Angebote
- [Lieferung eines optischen Rückstreureflektometers und FBG-Interrogators.](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-eines-optischen-rueckstreureflektometers-und-fbg-2253b8b4) · Zuschlag 30.10.2025 an AMS Technologies AG · 1 Angebot
- [Optisches Detektorsystem](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/optisches-detektorsystem-d66e737f) · Zuschlag 20.10.2025 an QMC Instruments Ltd. · 1 Angebot
- [Breitbandlaser](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/breitbandlaser-e87dccb7) · Zuschlag 24.09.2025 an Attocube Systems AG · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Berlin](https://vergabeweiser.de/region/berlin): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Physikalisch-Technische Bundesanstalt](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/physikalisch-technische-bundesanstalt): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen des Bundes](https://vergabeweiser.de/thema/bund): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 29.07.2025, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Flift-off-prozesmodul-a0084d9d

---
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=1742409b-3b83-4088-8533-4fd608643d62. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lift-off-prozesmodul-a0084d9d