# Lieferung von 4 Reinraumgeräten für das ZGH.

Zuschlag erteilt

Ruhr-Universität Bochum hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Bochum am 13.02.2017 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: [Ruhr-Universität Bochum](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ruhr-universitaet-bochum)
- Was: Maschinen und Geräte: Lieferung von 4 Reinraumgeräten für das ZGH.
- Wo: Bochum, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 1 Monat
- Lose: 4 Lose, einzeln anzubieten laut Bekanntmachung
- Zuschlag an: Oxford Instruments GmbH
- Zuschlag am: 13.02.2017
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Oxford Instruments GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/oxford-instruments-gmbh), Wiesbaden

## 4 Lose

- Los 1: Silizium-Tiefenätzanlage (engl. Advanced Silicon Etching (ASE)) · [Oxford Instruments GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/oxford-instruments-gmbh), Wiesbaden
- Los 2: Lieferung einer Anlage zur plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (engl. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD) · nicht veröffentlicht
- Los 3: Lieferung einer Anlage zum reaktiven Ionenstrahlätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching, RIBE) · nicht veröffentlicht
- Los 4: Lieferung einer Reaktiv-Ionenätzanlage (engl. Reactive Ion Etching, RIE) · nicht veröffentlicht

## Leistungsumfang

Im Rahmen des Forschungsbaus „Zentrum für Grenzflächendominierte Höchstleistungswerkstoffe“ (ZGH) werden die folgenden vier Reinraumgeräte benötigt: — Eine Silizium-Tiefenätzanlage (engl. Advanced Silicon Etching (ASE)), — Eine Anlage zur plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (engl. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)), — Eine Anlage zum reaktiven Ionenstrahlätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching (RIBE)) und — Eine Reaktiv-Ionenätzanlage (engl. Reactive Ion Etching (RIE)).

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Westfalen
- CPV-Code: 31640000-4
- CPV-Bezeichnung: [Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion](https://vergabeweiser.de/cpv/31640000-maschinen-apparate-und-geraete-mit-eigener-funktion)
- Bekanntmachungs-ID: 428077-2016

## Verlauf

- 06.12.2016: Ausschreibung veröffentlicht
- 22.03.2017: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 22.03.2017, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/106709-2017. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-von-4-reinraumgeraeten-fuer-das-zgh-4280772016