# Lieferung und Installation von 2 Ätzern ( O2 und CF4).

Zuschlag erteilt

Forschungsverbund Berlin e.V. hat den Auftrag für Maschinen und Geräte am 11.12.2017 vergeben, Zuschlag an PVA Metrology and Plasma Solution GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: [Forschungsverbund Berlin e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/forschungsverbund-berlin-ev)
- Was: Maschinen und Geräte: Lieferung und Installation von 2 Ätzern ( O2 und CF4).
- Wo: nicht angegeben
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Zuschlag an: PVA Metrology and Plasma Solution GmbH
- Zuschlag am: 11.12.2017
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [PVA Metrology and Plasma Solution GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/pva-metrology-and-plasma-solution-gmbh), Wettenberg

## Leistungsumfang

Lieferung und Installation einer Ätzanlage, bestehend aus je einem O2-Barrel-Ätzer und CF4-Barrel-Ätzer für Lackstrip-,Wafer- und Schablonenreinigungsprozesse siehe link zur Leistungsbeschreibung: http://www.fv-berlin.de/administration/einkauf-bau-liegenschaften-1/ausschreibungen/ausschreibungen

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Berlin
- CPV-Code: 31000000-6
- CPV-Bezeichnung: [Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung](https://vergabeweiser.de/cpv/31000000-elektrische-maschinen-geraete-ausstattung)
- Bekanntmachungs-ID: 322825-2017

## Verlauf

- 16.08.2017: Ausschreibung veröffentlicht
- 11.01.2018: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat PVA Metrology and Plasma Solution GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

- [Forschungsverbund Berlin e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/forschungsverbund-berlin-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 11.01.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/012596-2018. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-und-installation-von-2-aetzern-o2-und-cf4-3228252017