# Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE)

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in TU Ilmenau am 05.11.2020 vergeben, Zuschlag an SENTCH GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 480.000 €. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
- Was: Maschinen und Geräte: Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE)
- Wo: TU Ilmenau, Ilm-Kreis, Thüringen
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 12 Monate
- Zuschlag an: SENTCH GmbH
- Zuschlag am: 05.11.2020
- Summe: 480.000 €
- Angebote: 1

## Gewinner

- [SENTCH GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/sentch-gmbh), Kraillng

## Leistungsumfang

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Wettbewerblicher Dialog (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 544.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
- CPV-Code: 42900000-5
- CPV-Bezeichnung: [Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42900000-maschinen-fuer-allgemeine-und-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: 293457-2019

## Verlauf

- 25.06.2019: Ausschreibung veröffentlicht
- 11.11.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat SENTCH GmbH erhalten, Summe 480.000 €.

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Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 11.11.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 03.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/539863-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-und-inbetriebnahme-eines-flexibel-einsetzbaren-atomlagen-2934572019