# Lieferung, Installation und Inbetriebnahmeeiner ICPECVD-Anlage

Zuschlag erteilt

Forschungsverbund Berlin e.V. hat den Auftrag für Maschinen und Geräte am 17.06.2019 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Eingegangen: 3 Angebote.

- Auftraggeber: [Forschungsverbund Berlin e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/forschungsverbund-berlin-ev)
- Was: Maschinen und Geräte: Lieferung, Installation und Inbetriebnahmeeiner ICPECVD-Anlage
- Wo: nicht angegeben
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 11 Monate
- Zuschlag an: Oxford Instruments GmbH
- Zuschlag am: 17.06.2019
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 3

## Gewinner

- [Oxford Instruments GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/oxford-instruments-gmbh), Wiesbaden

## Leistungsumfang

Zur Abscheidung dünner dielektrischer Schichten soll im Rahmen eines BMBF-Projekts eine moderne und flexible Beschichtungsanlage beschafft werden zur Herstellung von SiNx- und SiOy- Dielektrika. Mittelpunkt der Beschaffung ist eine Plasma CVD Anlage mit dem Ziel, qualitativ hochwertige SiNx Dielektrika mit Durchbruchfeldstärken von > 8 MV/cm abzuscheiden. (entspricht ca. 80 V Durchbruchspannung bei einer Dielektrikumsdicke von 100 nm).

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Berlin
- CPV-Code: 31000000-6
- CPV-Bezeichnung: [Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung](https://vergabeweiser.de/cpv/31000000-elektrische-maschinen-geraete-ausstattung)
- Bekanntmachungs-ID: 030747-2019

## Verlauf

- 22.01.2019: Ausschreibung veröffentlicht
- 18.07.2019: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

- [Forschungsverbund Berlin e.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/forschungsverbund-berlin-ev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 18.07.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/337123-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-installation-und-inbetriebnahmeeiner-icpecvd-anlage-0307472019