# Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems

Zuschlag erteilt

Universität der Bundeswehr München hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Landkreis München am 09.11.2021 vergeben, Zuschlag an Raith GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: [Universität der Bundeswehr München](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-der-bundeswehr-muenchen)
- Was: Labor- und Messtechnik: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems
- Wo: Landkreis München, Bayern
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 22.11.2021 bis 30.03.2022
- Zuschlag an: Raith GmbH
- Zuschlag am: 09.11.2021
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Raith GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/raith-gmbh), Dortmund

## Leistungsumfang

Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf 2D Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Für den Forschungsaspekt Energie und Antrieb beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens das Elektronenstrahllithographiesystem zu erwerben. Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems. Die Anlage wird zur Herstellung und Belichtung kleinster Strukturen auf 4-Zoll-Wafern benötigt. Derart kleine Strukturen können nur mittels Elektronenstrahllithographie erzeugt werden. Die erforderliche Präzision der Lithographie ist nur gegeben, wenn diese Strukturen versatzfrei auf einem ganzen Wafer erzeugt werden können, sog. "stitching-freies" Schreiben. Vom Lieferumfang umfasst sind auch ein Hochleistungs-PC und für den Betrieb des Elektronenstrahllithographiesystems erforderliche Software sowie eine 5-tägige Schulung und Einweisung in den Betrieb des Systems für das Personal der UniBw M. Für die Beschaffung des Auftragsgegenstands steht der UniBw M ein Budget von maximal EUR 600.00,00 (netto) zur Verfügung. Die UniBw M behält sich vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen und das Verfahren insgesamt aufzuheben, falls lediglich Angebote eingehen, die Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.11.2021 abgeschlossen sein. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Bundeskartellamt
- CPV-Code: 38511000-0
- CPV-Bezeichnung: [Elektronenmikroskope](https://vergabeweiser.de/cpv/38511000-elektronenmikroskope)
- Bekanntmachungs-ID: 488568-2021

## Verlauf

- 28.09.2021: Ausschreibung veröffentlicht
- 11.02.2022: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Raith GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Landkreis München](https://vergabeweiser.de/region/bayern/landkreis-muenchen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Universität der Bundeswehr München](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-der-bundeswehr-muenchen): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen der Bundeswehr](https://vergabeweiser.de/thema/bundeswehr): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 11.02.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/075267-2022. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-installation-und-inbetriebnahme-eines-4885682021