# Lieferung eines Stylus-Profilometers

Abgelaufen

Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberge.V. hat einen Auftrag für „Lieferung eines Stylus-Profilometers“ in Waldheim Meinsberg ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 26.01.2026. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberge.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/kurt-schwabe-institut-fuer-mess-und-sensortechnik-meinsbergev)
- Was: Lieferung eines Stylus-Profilometers
- Wo: Waldheim Meinsberg, Sachsen
- Bis wann: Angebotsfrist 26.01.2026, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.evergabe.de/auftraege/suche-ueber-vergabestellen/Kurt%252DSchwabe%252DInstitut%2520f%25C3%25BCr%2520Mess%252D%2520und%2520%2520Sensortechnik%2520Meinsberg%2520e%252EV%252E/3307694
- Vergabeplattform: [evergabe.de](https://vergabeweiser.de/plattform/evergabe)

## Leistungsumfang

1) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Offizielle Bezeichnung: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.; Straße, Hausnummer: Kurt-Schwabe-Straße 4; Postleitzahl: 04736; Ort: Waldheim; Land: DE; Telefon: [Nummer entfernt]; Fax: [Nummer entfernt]; Internet-Adresse: www.ksi-sensors.de; E-Mail: ausschreibung@ksi-sensors.de Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o. Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o. 2) Verfahrensart: Öffentliche Ausschreibung, Vergabenummer: 2025-2 3) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden. 4) Ggf. in den Fällen des § 29 (3) die Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und die Informationen zum Zugriff auf die Vergabeunterlagen: entfällt 5) Art und Umfang der Leistung: Das KSI Meinsberg betreibt Forschung an dünnen Schichtsystemen, metallischen PVD-Schichten, Fotolacken sowie Mikro-/Nanostrukturen. Das Profilometer dient zur: 1. Bestimmung von Resistdicken auf Wafern im Bereich ca. 20 nm – 1 µm 2. Analyse metallischer PVD-Schichten (wenige nm bis ~1 µm) 3. Topografie-, Profil- und Rauheitsmessungen an Masken, Lithografiestrukturen und technischen Oberflächen 4. Schonenden Messung empfindlicher Materialien → sehr geringe Messkräfte notwendig 5. Reproduzierbaren Messung kleinster Stufenhöhen im nm-Bereich Das Gerät muss robuste, hochpräzise und driftarme Messungen auf unterschiedlichen Materialien ermöglichen (Metalle, Polymere, Resist, Oxide, Wafersubstrate). Ort(e) der Leistungserbringung: Offizielle Bezeichnung: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V; Straße, Hausnummer: Kurt-Schwabe-Straße 4; Postleitzahl: 04736; Ort: Waldheim, Meinsberg; Land: DE 6) Ggf. Anzahl, Größe und Art der einzelnen Lose: entfällt, da keine losweise Vergabe 7) Nebenangebote sind zugelassen. 8) Etwaige Bestimmungen über die Ausführungsfrist: Beginn: 18.02.2026, Ende: 30.06.2026, Nach Beauftragung 9) Die Vergabeunterlagen werden auf der Vergabeplattform evergabe.de bereitgestellt. Ein unentgeltlicher Abruf ohne Registrierung ist möglich unter https://www.evergabe.de/unterlagen/3307694/zustellweg-auswaehlen. 10) Angebotsfrist: 26.01.2026, 12:00 Uhr; Bindefrist: 17.02.2026 11) Höhe etwa geforderter Sicherheitsleistungen: keine 12) Wesentliche Zahlungsbedingungen oder Angabe der Unterlagen, in denen sie enthalten sind: Vorauszahlungen gegen Vorlage einer Bankbürgschaft Rechnungslegung unter: [E-Mail-Adresse entfernt] 13) Mit dem Angebot oder dem Teilnahmeantrag vorzulegenden Unterlagen, die der Auftraggeber für die Beurteilung der Eignung des Bewerbers oder Bieters und des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen verlangt: siehe Unterlagen 14) Angabe der Zuschlagskriterien, sofern diese nicht in den Vergabeunterlagen genannt werden: entfällt, siehe Vergabeunterlagen Labortechnik/ Messtechnik

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: nicht angegeben
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bekanntmachungs-ID: 24807692

## Verlauf

- 20.12.2025: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Lieferung, Installation, Einbringung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografiesystem)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-installation-einbringung-und-inbetriebnahme-einer-01a15dd4) · Zuschlag 21.10.2026 an EV Group E. Thallner GmbH · 4 Angebote
- [Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-einer-elektronenstrahl-lithografieanlage-e-beam-system-019e018f) · Zuschlag 30.06.2026 an Raith GmbH · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Sachsen](https://vergabeweiser.de/region/sachsen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberge.V.](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/kurt-schwabe-institut-fuer-mess-und-sensortechnik-meinsbergev): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Öffentliche Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/oeffentliche-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 20.12.2025, ohne KI. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=24807692. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-eines-stylus-profilometers-24807692