# Lieferung eines Lithographie-Systems

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Universität Rostock hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Rostock am 15.10.2020 vergeben, Zuschlag an 2 Einzelunternehmen aus La Tronche und Zurich. Eingegangen: 1 Angebote je Los.

- Auftraggeber: [Universität Rostock](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-rostock)
- Was: Labor- und Messtechnik: Lieferung eines Lithographie-Systems
- Wo: Rostock, Mecklenburg-Vorpommern
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 21.10.2020 bis 22.10.2020
- Lose: 2 Lose, einzeln anzubieten laut Bekanntmachung
- Zuschlag an: 2 Einzelunternehmen aus La Tronche und Zurich
- Zuschlag am: 15.10.2020
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1 je Los

## Gewinner

- Einzelunternehmen aus La Tronche
- Einzelunternehmen aus Zurich

## 2 Lose

- Los 1: Maskenlose, parallele Photolithographie · Einzelunternehmen aus La Tronche
- Los 2: AFM-basierten Thermolithographie · Einzelunternehmen aus Zurich

## Leistungsumfang

Benötigt wird ein leistungsfähiges Lithographie-System, mit dem Strukturen auf Längenskalen von 30 nm bis oberhalb 1 mm in geeignetem Resist definiert werden können, um durch Folge-Prozesse wie Metallabscheidung und nasschemisches Ätzen funktionale Nanostrukturen herzustellen. Zusätzlich soll das System eine hochauflösende Bildgebung der Topographie von Nanostrukturen ermöglichen. Um diese Anforderungen zu erfüllen, werden 2 Geräte benötigt, die mit unterschiedlichen Lithographie-Technologien arbeiten. Die Leistung wird in 2 Lose geteilt. — Los 1: System zur maskenlosen, parallelen Photolithographie; — Los 2: System zur AFM-basierten Thermolithographie.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Mecklenburg-Vorpommern
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 402666-2020

## Verlauf

- 28.08.2020: Ausschreibung veröffentlicht
- 02.11.2020: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat 2 Einzelunternehmen aus La Tronche und Zurich erhalten.

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- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 02.11.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/521389-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-eines-lithographie-systems-4026662020