# Lieferung eines Atomic Layer Deposition system PEALD

Zuschlag erteilt · Nur 1 Angebot

Karlsruher Institut für Technologie (Rechtsform KöR) hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Karlsruhe vergeben (Bekanntmachung vom 26.01.2025), Zuschlag an Euris GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.

- Auftraggeber: [Karlsruher Institut für Technologie (Rechtsform KöR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/karlsruher-institut-fuer-technologie-rechtsform-koer)
- Was: Maschinen und Geräte: Lieferung eines Atomic Layer Deposition system PEALD
- Wo: Karlsruhe, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Zuschlag an: Euris GmbH
- Zuschlag am: 26.01.2025
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 1

## Gewinner

- [Euris GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/euris-gmbh), München

## Leistungsumfang

Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines GEMStar XT-DP, Thermal and Plasma enhanced Atomic Layer Deposition system PEALD with dual manifold zones up to 8 precursors including 2 precursor bottles + heater jackets mit Glovebox interface für das Institute of Photonics and Quantum Electronics (IPQ) am KIT - Campus Süd, Karlsruhe.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
- CPV-Code: 42990000-2
- CPV-Bezeichnung: [Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42990000-diverse-maschinen-und-geraete-fuer-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: b6c2d9f3-54ce-4f34-8800-a1c14dfbc1d0

## Verlauf

- 26.01.2025: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Euris GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

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- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 26.01.2025, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=b6c2d9f3-54ce-4f34-8800-a1c14dfbc1d0. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-eines-atomic-layer-deposition-system-peald-b6c2d9f3