# Lieferung einer teilautonomen kombinatorischen Sput-teranlage

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Ruhr-Universität Bochum hat einen Auftrag für IT-Hardware in Bochum ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 27.09.2021 möglich. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Ruhr-Universität Bochum](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ruhr-universitaet-bochum)
- Was: IT-Hardware: Lieferung einer teilautonomen kombinatorischen Sput-teranlage
- Wo: Bochum, Nordrhein-Westfalen
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 27.09.2021, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 26.08.2021 bis 31.12.2021
- Vergabeunterlagen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7DEZJ/documents
- Vergabeplattform: [evergabe.nrw.de](https://vergabeweiser.de/plattform/evergabe-nrw)

## Leistungsumfang

Bei der zu beschaffenden Anlage handelt es sich um eine hochkomplexe kombinatorische Sputteranlage, die eine teilautonome Herstellung von Dünnschicht-Materialbibliotheken er- möglichen soll. Teilautonom bedeutet hier, dass 1. die Anlage bis zu 10 Materialbibliotheken ohne Nutzerinteraktion herstellen kann und 2. die Anlage über eine Schnittstelle verfügen muss, über die die automatisierte Interaktion mit der Software des Systemherstellers gewährleistet ist. Die Anlage soll für den Forschungsbetrieb konzipiert werden, einfache Zugänglichkeit (für Targetwechsel und Reinigung) ist wichtig, und Flexibilität für zukünftige Änderungen (Zusatzflansche und zusätzliche A/D-Kanäle für Erweiterungen der Instrumentierung) wird gefordert. Die zu beschaffende Anlage darf kein Prototyp sein, sondern die anbietende Firma muss nachweisen, dass sie bereits mindestens 10 direkt vergleichbare Systeme verkauft hat. Es muss auch eine Zeichnung bzw. ein Foto von dem System zur Verfügung gestellt werden.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 728.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer der Bezirksregierung Münster
- CPV-Code: 30238000-6
- CPV-Bezeichnung: Automationsgeräte für Bibliotheken
- Bekanntmachungs-ID: 439344-2021

## Verlauf

- 31.08.2021: Ausschreibung veröffentlicht

## Weitere Zuschläge

- [1512-SL-Mobilfunkzubehör-DB_EA-06_Los 1 bis 2](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/1512-sl-mobilfunkzubehoer-db-ea-06-los-1-bis-2-8dfd6633) · BWI GmbH Funktionspostfach · Zuschlag 07.09.2026 an Office Partner GmbH und 2 weitere · 1–3 Angebote je Los
- [Dynamisches Beschaffungssystem für Sonder-HW Kat. 2](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/dynamisches-beschaffungssystem-fuer-sonder-hw-kat-2-0f0d2a55) · BWI GmbH Funktionspostfach · Zuschlag 24.08.2026 an Think about IT GmbH · 1 Angebot
- [Dynamisches Beschaffungssystem für Sonder-HW Kat. 1](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/dynamisches-beschaffungssystem-fuer-sonder-hw-kat-1-736f89ed) · BWI GmbH Funktionspostfach · Zuschlag 19.08.2026 an Think about IT GmbH · 1 Angebote je Los
- [Ruhr-Universität Bochum - "Mehrpartner-Rahmenvertrag Generalplanung in zwei Losen"](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ruhr-universitaet-bochum-mehrpartner-rahmenvertrag-generalplanung-in-91582cfd) · Ruhr-Universität Bochum · Zuschlag 31.07.2026 an Gerber Architekten GmbH und 3 weitere · 2–3 Angebote je Los
- [Dynamisches Beschaffungssystem für Sonder-HW Kat. 3](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/dynamisches-beschaffungssystem-fuer-sonder-hw-kat-3-07952165) · BWI GmbH Funktionspostfach · Zuschlag 06.07.2026 an Langer IT Solutions GmbH und 2 weitere · 1–2 Angebote je Los
- [Dynamisches Beschaffungssystem für Sonder-HW Kat. 4](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/dynamisches-beschaffungssystem-fuer-sonder-hw-kat-4-50393101) · BWI GmbH Funktionspostfach · Zuschlag 24.06.2026 an Langer IT Solutions GmbH · 1 Angebote je Los

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Bochum](https://vergabeweiser.de/region/nordrhein-westfalen/bochum): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ruhr-Universität Bochum](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ruhr-universitaet-bochum): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 31.08.2021, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Flieferung-einer-teilautonomen-kombinatorischen-sput-teranlage-4393442021

---
Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/439344-2021. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-einer-teilautonomen-kombinatorischen-sput-teranlage-4393442021