# Lieferung einer Sputteranlage mit Loadlock-Kammer

Abgelaufen

Universität der Bundeswehr München hat einen Auftrag für Maschinen und Geräte im Landkreis München ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 17.07.2023. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Universität der Bundeswehr München](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-der-bundeswehr-muenchen)
- Was: Maschinen und Geräte: Lieferung einer Sputteranlage mit Loadlock-Kammer
- Wo: Landkreis München, Bayern
- Bis wann: Angebotsfrist 17.07.2023, 13:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 14.08.2023 bis 30.09.2024
- Vergabeunterlagen: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=516423
- Vergabeplattform: [evergabe-online.de](https://vergabeweiser.de/plattform/evergabe-online)

## Leistungsumfang

Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung einer Sputteranlage mit Loadlock-Kammer. Dabei wird ein erprobtes System gesucht, um metallische und dielektrische Schichten mittels sputtern aufzubringen. Die Anlage soll dabei so flexibel sein, dass eine Erweiterung für eine ESV-Verdampfung oder zusätzlichen Targets ohne weiteres oder größeren finanziellen Aufwand möglich ist. Als Substrate werden Siliziumwafer mit den Durchmessern 100 mm und 150 mm verwendet. Dabei werden auch doppelseitig polierte Wafer eingesetzt. Des Weiteren muss es auch möglich sein Bruchstücke bzw. Chips in der Anlage zu prozessieren. Im Bereich der Halbleitertechnologie ist das Aufbringen von metallischen und dielektrischen Schichten ein wichtiger Bestandteil. Dabei werden Sputteranlagen eingesetzt. Dabei wird ein Hauptaugenmerk auf die Qualität und Reproduzierbarkeit der Ergebnisse (Homogenität, Reproduzierbarkeit, Schichtdicke) gerichtet. Die Anlage sollte bedienerfreundlich sein, um möglichst einfach und zügig die nötigen Wafer zu bearbeiten. Neben den prozessrelevanten Details der Anlage ist ebenso die sichere Anwendung für den Bediener zu beachten. Hierbei gilt es zu gewährleisten, dass ein erhöhtes Gefahrenpotential durch mechanische sowie chemische Komponenten ausgeschlossen wird.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 523.210 €
- CPV-Code: 42900000-5
- CPV-Bezeichnung: [Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke](https://vergabeweiser.de/cpv/42900000-maschinen-fuer-allgemeine-und-besondere-zwecke)
- Bekanntmachungs-ID: b0f901f5-58dc-4d0b-af21-7d2ad39074e4

## Verlauf

- 08.05.2023: Ausschreibung veröffentlicht
- 05.06.2023: Bekanntmachung geändert · Korrektur der Angaben.
- 06.06.2023: Bekanntmachung geändert · Korrektur der Angaben.

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Lieferung einer 3-Achs CNC Hochgeschwindigkeitsfräsmaschine](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-einer-3-achs-cnc-hochgeschwindigkeitsfraesmaschine-e6d255a5) · Zuschlag 14.04.2026 an DATRON AG · 1 Angebot
- [SAN-Storage](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/san-storage-d3ebf65c) · Zuschlag 13.04.2026 an SVA System Vertrieb Alexander GmbH · 2 Angebote
- [Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie Support und Wartung eines Drei-Benutzer-QKD-Geräts](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-installation-inbetriebnahme-sowie-support-und-wartung-eines-f92800ed) · Zuschlag 22.01.2026 an Q*Bird B.V. · 1 Angebot
- [Entwicklung einer VR-Trainingssimulation zur Einsatzvorbereitung von Soldaten (VR-TrainSim)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/entwicklung-einer-vr-trainingssimulation-zur-einsatzvorbereitung-von-2c9ebe18) · Zuschlag 08.01.2026 an weltenbauer. Software Entwicklung GmbH · 2 Angebote
- [Konfiguration von sowie Support für drei Softwaretools für den Flugbetrieb des Satelliten](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/konfiguration-von-sowie-support-fuer-drei-softwaretools-fuer-den-6fa25e3e) · Zuschlag 04.12.2025 an Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. – DLR Projektträger
- [Bereitstellung von zwei Cubesat-Satelliten und die Vorbereitung einer Kleinsatellitenmission](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/bereitstellung-von-zwei-cubesat-satelliten-und-die-vorbereitung-einer-45252a8b) · Zuschlag 29.11.2025 an OroraTech GmbH · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Landkreis München](https://vergabeweiser.de/region/bayern/landkreis-muenchen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Universität der Bundeswehr München](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-der-bundeswehr-muenchen): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen der Bundeswehr](https://vergabeweiser.de/thema/bundeswehr): Ausschreibungen und Zahlen
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 06.06.2023, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2Flieferung-einer-sputteranlage-mit-loadlock-kammer-b0f901f5

---
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=b0f901f5-58dc-4d0b-af21-7d2ad39074e4. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-einer-sputteranlage-mit-loadlock-kammer-b0f901f5