# Lieferung einer PVD Cluster Anlage

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Ruhr-Universität Bochum hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Bochum ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 22.05.2020 möglich. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Ruhr-Universität Bochum](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ruhr-universitaet-bochum)
- Was: Labor- und Messtechnik: Lieferung einer PVD Cluster Anlage
- Wo: Bochum, Nordrhein-Westfalen
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 22.05.2020, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 4 Monate
- Vergabeunterlagen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7DRR3/documents
- Vergabeplattform: [evergabe.nrw.de](https://vergabeweiser.de/plattform/evergabe-nrw)

## Leistungsumfang

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt ein PVD-Clustertool zu beschaffen, das im Umfeld des Forschungslabors Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden wird. Es soll definierte Prozessfolgen ermöglichen, die: — Substratreinigung (Inverses Sputtern); — Sputtern (Metalle); — Aufdampfen (Metalle); — Co-Sputtern (binäre Legierungen, reaktive Nanoschichten) und — Reaktives Sputtern (insbesondere c-Achsen-orientiertes AlN). In direkter Folge ohne Vakuumbruch umfassen. Das Cluster wird in den Reinraum des Lehrstuhls für Mikrosystemtechnik eingebracht, die übliche Medien-Infrastruktur ist vorhanden. Die Anlage ergänzt ein weiteres Clustertool, das die additiven und subtraktiven Prozesse der 2DElektronik (ALD, ALE, PECVD, RIE) bereitstellt und derzeit beschafft wird.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Wettbewerblicher Dialog (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: 1.200.000 €
- Nachprüfung: Vergabekammer Westfalen
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 188051-2020

## Verlauf

- 23.04.2020: Ausschreibung veröffentlicht

## Weitere Zuschläge

- [Ruhr-Universität Bochum - "Mehrpartner-Rahmenvertrag Generalplanung in zwei Losen"](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/ruhr-universitaet-bochum-mehrpartner-rahmenvertrag-generalplanung-in-91582cfd) · Ruhr-Universität Bochum · Zuschlag 31.07.2026 an Gerber Architekten GmbH und 3 weitere · 2–3 Angebote je Los
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- [Laboranalysesysteme Zentrallabor](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laboranalysesysteme-zentrallabor-94cd80e0) · Universitätsklinikum Düsseldorf · Zuschlag 05.08.2025 an Roche Diagnostics Deutschland GmbH · 1 Angebot

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Bochum](https://vergabeweiser.de/region/nordrhein-westfalen/bochum): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ruhr-Universität Bochum](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ruhr-universitaet-bochum): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Vergabearten](https://vergabeweiser.de/wissen/vergabearten): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 23.04.2020, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 02.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/188051-2020. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-einer-pvd-cluster-anlage-1880512020