# Lieferung einer Plasma ALD Anlage.

Zuschlag erteilt

Universität Hamburg hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik vergeben (Bekanntmachung vom 08.07.2017), Zuschlag an Euris GmbH.

- Auftraggeber: [Universität Hamburg](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-hamburg)
- Was: Labor- und Messtechnik: Lieferung einer Plasma ALD Anlage.
- Wo: Hamburg
- Wer kann anbieten: Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.
- Zuschlag an: Euris GmbH
- Zuschlag am: 08.07.2017
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: nicht veröffentlicht

## Gewinner

- [Euris GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/euris-gmbh), München

## Leistungsumfang

ALD Anlage werden in der Produktion und in der R&D in der Halbleiterbranche eingesetzt Ausschlaggebende Punkte sind hier die Größe der zu beschichtenden Substrate (6 und 8 Zoll Wafer) sowie Zyklenzeiten, automatische Steuerung und in-line-Integrierung. Plasma-assistierte ALD ermöglicht eine weitere Reduktion der Abscheidetemperatur bis in einen Bereich weiter unter 100 Grad durch die Erzeugung und Nutzung chemischer Radikale als Reaktanzen. Das Ziel der Arbeiten am CHyN ist es die Abscheidetemperaturen soweit wie möglich zu senken.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Finanzbehörde Hamburg
- CPV-Code: 38400000-9
- CPV-Bezeichnung: [Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften](https://vergabeweiser.de/cpv/38400000-instrumente-zum-pruefen-von-physikalischen-eigenschaften)
- Bekanntmachungs-ID: 264719-2017

## Verlauf

- 08.07.2017: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Euris GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

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- [Universität Hamburg](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/universitaet-hamburg): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Ausschreibungen von Universitäten und Hochschulen](https://vergabeweiser.de/thema/hochschulen): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 08.07.2017, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 31.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/264719-2017. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/lieferung-einer-plasma-ald-anlage-2647192017