# Laserlithographie

Zuschlag erteilt

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Ulm am 25.08.2026 vergeben, Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr)
- Was: Labor- und Messtechnik: Laserlithographie
- Wo: Ulm, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Zuschlag an: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
- Zuschlag am: 25.08.2026
- Summe: nicht veröffentlicht
- Angebote: 2

## Gewinner

- [Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH](https://vergabeweiser.de/unternehmen/heidelberg-instruments-mikrotechnik-gmbh), Heidelberg

## Leistungsumfang

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bindefrist: 46 Tage nach Angebotsfrist
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 74b4b6a8-765f-46d2-a0b3-07344fa28025

## Verlauf

- 03.07.2026: Ausschreibung veröffentlicht
- 04.09.2026: Ergebnis veröffentlicht

## Häufige Fragen

**Wer hat den Auftrag bekommen?**
Den Zuschlag hat Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH erhalten.

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## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Ulm](https://vergabeweiser.de/region/baden-wuerttemberg/ulm): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 04.09.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 30.10.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=f355815a-5e3b-4ecb-8004-9b6c1bcc77f3. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laserlithographie-74b4b6a8