# Laborausrüstung Ion Beam Etching - IBE | Innovationszentrum QC-i HH

Abgelaufen

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat einen Auftrag für „Laborausrüstung Ion Beam Etching - IBE | Innovationszentrum QC-i HH“ bundesweit ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 08.11.2023. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr-3)
- Was: Laborausrüstung Ion Beam Etching - IBE | Innovationszentrum QC-i HH
- Wo: Deutschland
- Bis wann: Angebotsfrist 08.11.2023, 14:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Vergabeunterlagen: https://www.subreport-elvis.de/download/bund/E26541969/1696786687461/bekanntmachung.pdf
- Vergabeplattform: [subreport-elvis.de](https://vergabeweiser.de/plattform/subreport-elvis)

## Leistungsumfang

Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse auch das reaktive Ionenstrahlätzen (reactive ion beam etching RIBE) und das chemisch unterstütze Ionenstrahlätzen (chemically assisted ion beam etching CAIBE) unterstützen. Mit den Verfahren sollen unter anderem Au, Al und SiO2 Dünnschichten auf 150 mm Wafern mittels Lackmaske strukturiert werden. Laborausrüstung Ion Beam Etching - IBE | Innovationszentrum QC-i HH

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Öffentliche Ausschreibung (national)
- Art des Auftrags: nicht angegeben
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Bekanntmachungs-ID: 20987752

## Verlauf

- 11.10.2023: Ausschreibung veröffentlicht

## Von hier aus weiter

- [Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/deutsches-zentrum-fuer-luft-und-raumfahrt-ev-dlr-3): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Öffentliche Ausschreibung](https://vergabeweiser.de/wissen/oeffentliche-ausschreibung): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 11.10.2023, ohne KI. Stand: 03.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=20987752. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/laborausruestung-ion-beam-etching-ibe-innovationszentrum-qc-i-hh-20987752