# Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern

Abgelaufen

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 29.11.2021. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik)
- Was: Labor- und Messtechnik: Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Bis wann: Angebotsfrist 29.11.2021, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit: 36 Monate
- Vergabeunterlagen: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYWA/documents
- Vergabeplattform: [vergabemarktplatz.brandenburg.de](https://vergabeweiser.de/plattform/vergabemarktplatz-brandenburg)

## Leistungsumfang

Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern. Auf vorstrukturtieren Wafern (bis zum Kontaktmodul) soll ein Backend (Kupfer/Aluminimum Metallisierung) gefertigt werden. Das Backend soll mindestens folgende Spezifikation einhalten: Mindestens 4 dünne Cu Leitbahnen im 130nm Technologieniveau. Mindestens 2 dicke Cu Leitbahnen mit 3Müm Dicke Eine Top-Metallleitbahn aus Aluminium mit mindestens 2,5Müm Dicke. Des weiteren soll ein MIM Kondensator mit mindestens 2fF/Müm2 Flächendichte im Backend zur Verfügung stehen. Das Backend soll eine qualifizierte Passivierung enthalten. Es sollen in den nächsten 3 Jahren müssen pro Jahr 3 Maskensätze und ungefähr 36 Wafer mit einer Losgröße von je mindestens 6 Wafer gefertigt werden.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Rahmenvereinbarung: ja
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 550877-2021

## Verlauf

- 29.10.2021: Ausschreibung veröffentlicht

## Weitere Zuschläge

- [Softwarepaket für den Entwurf von Höchstfrequenz- und Mikrowellenschaltungen](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/softwarepaket-fuer-den-entwurf-von-hoechstfrequenz-und-4194a2cc) · IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 09.09.2026 an Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [300 mm Photonics Prober station and Optical test and measurement system](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/300-mm-photonics-prober-station-and-optical-test-and-measurement-8ed17781) · IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 30.01.2026 an Cascade Microtech GmbH und Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1–2 Angebote je Los
- [Broadband vector network analyzer (VNA) system](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/broadband-vector-network-analyzer-vna-system-5ef2a9d4) · IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Zuschlag 20.01.2026 an Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [IRMS](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/irms-16bb9f43) · Brandenburgische Technische Universität Cottbus - Senftenberg · Zuschlag 08.12.2025 an Elementar Analysensysteme GmbH · 2 Angebote
- [Beschaffung von Controllereinheiten](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/beschaffung-von-controllereinheiten-1c4fd2ec) · Stadtwerke Cottbus GmbH · Zuschlag 27.11.2025 an ABB AG · 1 Angebot
- [Isotopenmassenspektrometer](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/isotopenmassenspektrometer-1666284d) · Leibniz-Zentrum für Agrarlandschaftsforschung (ZALF) e.V. · Zuschlag 06.10.2025 an Thermo Fisher Scientific GmbH · 2 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Frankfurt (Oder)](https://vergabeweiser.de/region/brandenburg/frankfurt-oder): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 29.10.2021, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 04.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/550877-2021. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/kupfer-backend-prozessierung-auf-vorgefertigten-wafern-5508772021