# Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern

Abgelaufen

IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 11.01.2024. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-lebniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik)
- Was: Labor- und Messtechnik: Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
- Wo: Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Bis wann: Angebotsfrist 11.01.2024, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt. Für KMU geeignet laut Bekanntmachung.
- Vergabeunterlagen: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDY1L1HZWZH/documents
- Vergabeplattform: [vergabemarktplatz.brandenburg.de](https://vergabeweiser.de/plattform/vergabemarktplatz-brandenburg)

## Leistungsumfang

Die IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping-Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern. Auf vorstrukturtierten Wafern (bis zum Kontaktmodul) soll ein Backend (Kupfer/Aluminimum Metallisierung) gefertigt werden. Das Backend soll mindestens folgende Spezifikation einhalten: - Mindestens 4 dünne Cu-Leitbahnen im 130nm Technologieniveau. - Mindestens 2 dicke Cu-Leitbahnen mit 3µm Dicke - Eine Top-Metallleitbahn aus Aluminium mit mindestens 2,5µm Dicke. - Des Weiteren soll ein MIM Kondensator mit mindestens 2fF/µm2 Flächendichte im Backend zur Verfügung stehen. - Das Backend soll eine qualifizierte Passivierung enthalten. Es sollen in den nächsten 3 Jahren pro Jahr mindestens 3 Maskensätze und ungefähr 36 Wafer mit einer Losgröße von je mindestens 6 Wafer gefertigt werden. Weiterhin sollen innerhalb von 3 Jahren ca. 60 Setup- oder Shortloop-Wafer gefertigt werden, die nur die oberste Aluminimum-Leitbahn und die Passivierung enthalten.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Offenes Verfahren (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Rahmenvereinbarung: ja
- Nachprüfung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
- CPV-Code: 38000000-5
- CPV-Bezeichnung: [Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)](https://vergabeweiser.de/cpv/38000000-laborgeraete-optische-geraete-und-praezisionsgeraete-ausser)
- Bekanntmachungs-ID: 3ce5bec3-5f67-40aa-bdb7-17230f85ed6c

## Verlauf

- 12.12.2023: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Sensorservice für überwachungspflichtige Gase für die Jahre 2026 bis 2030](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/sensorservice-fuer-ueberwachungspflichtige-gase-fuer-die-jahre-2026-84d67c67) · Zuschlag 10.09.2026 an Einzelunternehmen aus Dortmund · 2 Angebote
- [200 mm Semi-Automatic RF Probe System for On-Wafer Measurements up to 250 GHz](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/200-mm-semi-automatic-rf-probe-system-for-on-wafer-measurements-up-to-92a13589) · Zuschlag 28.08.2026 an ATV Systems GmbH · 1 Angebot
- [Semi-automated probe system with accessories](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/semi-automated-probe-system-with-accessories-9ab9f3de) · Zuschlag 04.05.2026 an ATV Systems GmbH · 3 Angebote
- [300 mm Photonics Prober station and Optical test and measurement system](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/300-mm-photonics-prober-station-and-optical-test-and-measurement-8ed17781) · Zuschlag 30.01.2026 an Cascade Microtech GmbH und Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1–2 Angebote je Los
- [Broadband vector network analyzer (VNA) system](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/broadband-vector-network-analyzer-vna-system-5ef2a9d4) · Zuschlag 20.01.2026 an Keysight Technologies Deutschland GmbH · 1 Angebot
- [Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/standard-cleaning-batch-tool-for-130-nm-technology-on-200mm-si-wafers-b1494a5b) · Zuschlag 06.01.2026 an AP und S International GmbH · 2 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Frankfurt (Oder)](https://vergabeweiser.de/region/brandenburg/frankfurt-oder): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/ihp-gmbh-lebniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Offenes Verfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/offenes-verfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 12.12.2023, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 03.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=3ce5bec3-5f67-40aa-bdb7-17230f85ed6c. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/kupfer-backend-prozessierung-auf-vorgefertigten-wafern-3ce5bec3